[实用新型]环境控制型原子力显微镜装置

说明书

本实用新型公开了一种环境控制型原子力显微镜装置，包括：底座、设置于所述底座上的内部中空的激光检测头、设置于所述激光检测头内的激光器、设置于所述底座内且上端伸入到所述激光检测头内的样品移动台以及设置在所述样品移动台内的样品扫描器；所述激光检测头和底座之间设置有第一橡胶密封圈；所述样品移动台的上部外周固接有移动滑板，所述移动滑板可相对所述底座的上盖板进行水平滑动，所述移动滑板和所述底座的上盖板之间设置有第二橡胶密封圈。本实用新型适应不同的应用需求，可以对样品的工作环境进行一定的控制，具有能够同时在普通大气环境、液体环境、温度控制环境、惰性气体控制环境下工作的有益效果。

技术领域

本实用新型涉及原子力显微镜设备领域，具体地说，本实用新型涉及一种环境控制型原子力显微镜装置。

背景技术

原子力显微镜(AFM)是一种可用来研究包括绝缘体在内的固体材料表面微观结构的分析仪器。它通过检测待测样品表面和一个微型力敏感元件之间的极微弱的原子间相互作用力来研究物质的表面结构及性质。原子力显微镜是当前世界上分辨率最高的表面三维轮廓测量仪器，是材料科学研究及纳米检测领域中不可或缺的检测设备。原子力显微镜以分辨率高、适用范围广、样品制备简单，以及能够在各种环境中进行微纳米检测而获得广泛的应用。

原子力显微镜通常是在普通大气环境下进行工作的，但是在科学研究领域中有不同的样品有不同的储存条件，有的样品在大气中容易氧化只能存在于真空或者惰性气体环境下；有的样品，比如细胞等活性样品只能存在于液体环境下；有的样品在大气中分子活动很剧烈，要想获得高的分辨率只能在真空环境下测试；有的样品对于温度非常敏感，需要控制不同的表面温度进行测试分析等等。因此，亟需设计一种适应不同的应用需求，可以对样品的工作环境进行一定的控制，能够同时在普通大气环境、液体环境、温度控制环境、惰性气体控制环境等多种环境条件下工作的控制型原子力显微镜装置。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题在于针对上述现有技术中的不足，提供一种环境控制型原子力显微镜装置，包括：底座、设置于所述底座上的内部中空的激光检测头、设置于所述激光检测头内的激光器、设置于所述底座内且上端伸入到所述激光检测头内的样品移动台以及设置在所述样品移动台内的样品扫描器；

所述激光检测头和底座之间设置有第一橡胶密封圈；

所述样品移动台的上部外周固接有移动滑板，所述移动滑板可相对所述底座的上盖板进行水平滑动，所述移动滑板和所述底座的上盖板之间设置有第二橡胶密封圈。

优选的是，其中，所述上盖板的中部开设有供所述样品移动台上端的载物台面伸出的开口。

优选的是，其中，所述底座的侧部设置有与所述样品移动台连接的样品移动旋钮，通过所述样品移动旋钮带动所述样品移动台移动。

优选的是，其中，所述样品扫描器上端设置有用于承载样品的样品加热台。

优选的是，其中，所述样品扫描器可带动所述样品加热台在所述样品移动台内旋转，所述样品扫描器和样品移动台之间设置有第三橡胶密封圈。

优选的是，其中，所述激光检测头的上端设置有上盖板，所述上盖板上设置有透光片；

所述上盖板和激光检测头之间设置有第四橡胶密封圈。

优选的是，其中，所述激光检测头的前部可拆卸设置有前盖板，所述前盖板上设置有透明玻璃；

所述前盖板和激光检测头之间设置有第五橡胶密封圈。

优选的是，其中，所述激光检测头上设置有进气阀门和出气阀门。

优选的是，其中，所述激光检测头上还设置有用于调节所述激光器的移动的激光器调节旋钮、用于调节所述激光检测头内的PSD的移动的PSD调节旋钮以及用于调节所述激光检测头内的反光镜的移动的反光镜调节旋钮。