[实用新型]晶圆匣防脱落装置

权利要求书

1.一种晶圆匣防脱落装置，包括晶圆匣(1)，所述晶圆匣(1)承放在中测台(2)上，所述中测台(2)一侧设置有用于承放晶圆匣(1)的升降台(3)，其特征在于：所述晶圆匣(1)内壁沿高度方向开设有若干用于卡合晶圆的托槽(11)，所述晶圆匣(1)一侧设置有连接晶圆匣(1)两侧内壁的连接杆(12)，所述升降台(3)顶壁设置有限位块(31)，所述连接杆(12)朝向限位块(31)的一侧设置有对中块(13)，所述限位块(31)背离升降台(3)的一侧开设有供对中块(13)插合的对中槽(32)，所述晶圆匣(1)的两侧外壁均设置有与升降台(3)连接的防脱装置(4)。

2.根据权利要求1所述的晶圆匣防脱落装置，其特征在于：所述防脱装置(4)包括固定壳(41)、防脱构件(42)和联动构件(43)，所述固定壳(41)分别与晶圆匣(1)两侧的外壁连接，所述固定壳(41)背离晶圆匣(1)的一侧设置有连接台(411)，所述联动构件(43)包括控制杆(431)、收卷筒(432)、主动齿轮(433)和从动齿轮(434)，所述控制杆(431)一端通过连接台(411)穿设进固定壳(41)内，所述控制杆(431)穿设进固定壳(41)内的一端同轴连接主动齿轮(433)，所述控制杆(431)的两侧均设置收卷筒(432)，所述收卷筒(432)外同轴套设与主动齿轮(433)啮合的从动齿轮(434)，任意一个所述收卷筒(432)连接控制晶圆匣(1)防脱落的防脱构件(42)。

3.根据权利要求2所述的晶圆匣防脱落装置，其特征在于：所述升降台(3)朝向晶圆匣(1)的一侧开设有若干防脱槽(33)，所述防脱槽(33)一侧内壁开设有卡槽(34)，所述防脱构件(42)包括收卷绳(421)、防脱杆(422)、抵紧弹簧(423)和若干导向轮(424)，所述收卷绳(421)一端与收卷筒(432)连接并与绕设在收卷筒(432)上，若干所述导向轮(424)设置在固定壳(41)内，所述收卷绳(421)绕设在导向轮(424)上，所述固定壳(41)一端卡合进防脱槽(33)内，所述固定壳(41)对应卡槽(34)位置开设有安置腔(412)，所述防脱杆(422)与安置腔(412)滑移连接，所述收卷绳(421)远离与收卷筒(432)连接的一端与防脱杆(422)背离卡槽(34)的一侧连接，所述抵紧弹簧(423)与安置腔(412)侧壁和防脱杆(422)连接收卷绳(421)的一侧连接，并位于收卷绳(421)的下方，所述连接台(411)一侧穿设有螺纹连接并用于锁紧控制杆(431)的锁紧螺钉(5)。

4.根据权利要求2或3中任意一项所述的晶圆匣防脱落装置，其特征在于：所述晶圆匣(1)两侧外壁还设置有安装条(6)，所述安装条(6)内连接有快拆构件(7)，所述快拆构件(7)背离安装条(6)的一侧与固定壳(41)连接。

5.根据权利要求4所述的晶圆匣防脱落装置，其特征在于：所述快拆构件(7)包括角座(71)、卡接杆(72)和按压弹簧(73)，所述角座(71)与固定壳(41)连接，所述角座(71)位于固定壳(41)两侧的外壁均开设有贯穿角座(71)的按压槽(74)，所述卡接杆(72)与按压槽(74)滑移连接，所述角座(71)中开设有与按压槽(74)连通的弹簧槽(76)，所述按压弹簧(73)一端与弹簧槽(76)底壁连接，另一端与卡接杆(72)一侧连接，所述卡接杆(72)背离与按压弹簧(73)连接的一端与安装条(6)卡合。

6.根据权利要求5所述的晶圆匣防脱落装置，其特征在于：所述托槽(11)两端均设置有定位楔块(14)。

7.根据权利要求6所述的晶圆匣防脱落装置，其特征在于：所述托槽(11)底壁粘附有减震垫(15)，所述减震垫(15)两端还与定位楔块(14)连接。

8.根据权利要求6所述的晶圆匣防脱落装置，其特征在于：所述晶圆匣(1)背离连接杆(12)的一侧设置有提手(16)。