[实用新型]晶圆匣防脱落装置

说明书

本实用新型涉及一种晶圆匣防脱落装置，属于晶圆检测技术领域，其包括晶圆匣，所述晶圆匣承放在中测台上，所述中测台一侧设置有用于承放晶圆匣的升降台，其特征在于：所述晶圆匣内壁沿高度方向开设有若干用于卡合晶圆的托槽，所述晶圆匣一侧设置有连接晶圆匣两侧内壁的连接杆，所述升降台顶壁设置有限位块，所述连接杆朝向限位块的一侧设置有对中块，所述限位块背离升降台的一侧开设有供对中块插合的对中槽，所述晶圆匣的两侧外壁均设置有与升降台连接的防脱装置。本实用新型具有在晶圆匣进行承放时不易出现脱落和倾倒的效果。

技术领域

本实用新型涉及晶圆检测技术领域，尤其是涉及晶圆匣防脱落装置。

背景技术

晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能的集成电路产品。

晶圆在经过生产后需要经过检测才可以投入市场中进行应用，现有对晶圆的检测方式通常为采用中测台对晶圆进行检测，在进行检测时，目前通常将装有晶圆的晶圆匣放置在升降平台上，并通过输送装置将晶圆匣内的晶圆输送进中测台内的检测部位进行检测。由于晶圆匣是承放在升降平台上，未对晶圆匣进行定位，导致在对晶圆进行输送时，晶圆匣容易出现晃动和倾倒，使晶圆出现损坏。

实用新型内容

针对现有技术存在的不足，本实用新型的目的是提供晶圆匣防脱落装置，其具有在晶圆匣进行承放时不易出现脱落和倾倒的效果。

本实用新型的上述实用新型目的是通过以下技术方案得以实现的：

一种晶圆匣防脱落装置，包括晶圆匣，所述晶圆匣承放在中测台上，所述中测台一侧设置有用于承放晶圆匣的升降台，所述晶圆匣内壁沿高度方向开设有若干用于卡合晶圆的托槽，所述晶圆匣一侧设置有连接晶圆匣两侧内壁的连接杆，所述升降台顶壁设置有限位块，所述连接杆朝向限位块的一侧设置有对中块，所述限位块背离升降台的一侧开设有供对中块插合的对中槽，所述晶圆匣的两侧外壁均设置有与升降台连接的防脱装置。

通过采用上述技术方案，在需要对晶圆匣进行检测时，将晶圆卡合进晶圆匣的托槽内，将晶圆匣放置在升降台上，连接杆上的对中块卡进限位块的对中槽内对晶圆匣进行初步定位，在对晶圆匣初步定位后，通过防脱装置对晶圆匣进一步定位，达到晶圆匣不易出现脱落和倾倒的现象。

本实用新型进一步设置为：所述防脱装置包括固定壳、防脱构件和联动构件，所述固定壳分别与晶圆匣两侧的外壁连接，所述固定壳背离晶圆匣的一侧设置有连接台，所述联动构件包括控制杆、收卷筒、主动齿轮和从动齿轮，所述控制杆一端通过连接台穿设进固定壳内，控制杆穿设进固定壳内的一端同轴连接主动齿轮，所述控制杆的两侧均设置收卷筒，所述收卷筒外同轴套设与主动齿轮啮合的从动齿轮，任意一个所述收卷筒连接控制晶圆匣防脱落的防脱构件。

通过采用上述技术方案，在需要对晶圆匣进行防脱定位时，操作人员转动控制杆，通过主动齿轮和啮合的从动齿轮的转动，带动收卷筒进行转动，从而实现对防脱构件的控制，实现对晶圆匣的定位和解除定位。

本实用新型进一步设置为：所述升降台朝向晶圆匣的一侧开设有若干防脱槽，所述防脱槽一侧内壁开设有卡槽，所述防脱构件包括收卷绳、防脱杆、抵紧弹簧和若干导向轮，所述收卷绳一端与收卷筒连接并与绕设在收卷筒上，若干所述导向轮设置在固定壳内，所述收卷绳绕设在导向轮上，所述固定壳一端卡合进防脱槽内，所述固定壳对应卡槽位置开设有安置腔，所述防脱杆与安置腔滑移连接，所述收卷绳远离与收卷筒连接的一端与防脱杆背离卡槽的一侧连接，所述抵紧弹簧与安置腔侧壁和防脱杆连接收卷绳的一侧连接，并位于收卷绳的下方，所述连接台一侧穿设有螺纹连接并用于锁紧控制杆的锁紧螺钉。