[实用新型]一种离子源阳极有效
| 申请号： | 201922415697.X | 申请日： | 2019-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN211719557U | 公开（公告）日： | 2020-10-20 |
| 发明（设计）人： | 安建昊;唐欢欢 | 申请（专利权）人： | 江苏普拉斯玛机械有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 225000 江苏省扬*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 离子源 阳极 | ||
【权利要求书】：
1.一种离子源阳极，包括阳极基板(1)，所述阳极基板(1)通过安装部件安装到阳极安装座上，其特征在于：所述阳极基板(1)中心设置有中心电极(2)，且中心电极(2)与阳极基板(1)之间属于可拆卸配合，所述中心电极(2)在阳极基板(1)上突起，所述中心电极(2)的突起面上设有若干平滑的凸起(3)。
2.根据权利要求1所述的一种离子源阳极，其特征在于：所述中心电极(2)的突起面为平滑的波浪形。
3.根据权利要求1所述的一种离子源阳极，其特征在于：所述中心电极(2)呈圆柱体结构，在圆柱体顶端呈圆锥体构型。
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