[实用新型]一种离子源阳极

说明书

本实用新型公开了一种离子源阳极，包括阳极基板，阳极基板通过安装部件安装到阳极安装座上，阳极基板中心设置有中心电极，且中心电极与阳极基板之间属于可拆卸配合，中心电极在阳极基板上突起，中心电极的突起面上设有若干平滑的凸起。本实用新型提供一种离子源阳极，能够延长阳极板更换周期，进而降低阳极板的更换成本，省时省力。

技术领域

本实用新型属于镀膜领域，具体涉及一种离子源阳极。

背景技术

离子源在镀膜领域被越来越广泛的使用，离子源除了有起表面刻蚀和活化功能，且能够改变镜片膜层致密性，离子源起的变的越来越重要，因此离子源的使用频率也大为增加。

离子源在工作时，带负电荷的阴极钨丝发出的电子束需要用阳极板来中和，而原来的离子源阳极板为整块的不锈钢板制造，电子束会刻蚀到不锈钢板阳极上，用到一定的程度，需要整体更换阳极板，更换一次只需1周，成本较高，且耗时耗力。

实用新型内容

针对现有技术存在的不足，本实用新型提供一种离子源阳极，能够延长阳极板更换周期，进而降低阳极板的更换成本，省时省力。

本实用新型是通过以下技术方案实现的：一种离子源阳极，包括阳极基板，所述阳极基板通过安装部件安装到阳极安装座上，所述阳极基板中心设置有中心电极，且中心电极与阳极基板之间属于可拆卸配合(中心电极底部固接有螺纹柱，阳极基板表面开设有与螺纹柱相匹配的内螺纹槽，螺纹柱旋拧进内螺纹槽以紧固中心电极与阳极基板)，所述中心电极在阳极基板上突起，所述中心电极的突起面上设有若干平滑的凸起。

离子源的阴极钨丝在电流作用下，发出电子，电子在电场作用下会向下运动到阳极板上。

中心电极在阳极基板上突起，电子束优先轰击到中心电极，且中心电极的突起面上设有若干平滑的凸起，进而增加了中心电极突起面的表面积使得电子束轰击的面积提高，在同等的轰击情况下能够使得中心电极接收更多的电子束轰击，而对周围的基板部分作用较少，因此阳极板主要是中间的中心电极在使用过程中受到损害，在使用一段时间后需要更换阳极时，只需要更换中间的中心电极，大为降低更换成本，省时省力。

所述中心电极的突起面为平滑的波浪形，同样能够增加了中心电极突起面的表面积使得电子束轰击的面积提高，在同等的轰击情况下能够使得中心电极接收更多的电子束轰击。

所述中心电极呈圆柱体结构，在圆柱体顶端呈圆锥体构型，一方面，突起的圆柱体能够耐受较长时间的轰击，延长更换时间；另一方面，电子束会优先与锥体结构的中心点建立联系，从而约束电子束促进其集中，进一步减少对阳极基板的损害。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型中心电极的突起面上设有若干平滑的凸起或中心电极的突起面为平滑的波浪形，使得电子束优先轰击到中心电极同时，增加了中心电极突起面的表面积使得电子束轰击的面积提高，在同等的轰击情况下能够使得中心电极接收更多的电子束轰击。

附图说明

图1是本实用新型实施例1的俯视图；

图2是本实用新型实施例1的侧视图；

图3是本实用新型实施例2的侧视图。

附图中：1.阳极基板；2.中心电极；3.凸起。

具体实施方式

实施例1

如说明书附图中图1和图2所示的一种离子源阳极，包括阳极基板1，阳极基板1通过安装部件安装到阳极安装座上，阳极基板1中心设置有中心电极2，且中心电极2与阳极基板1之间属于可拆卸配合，中心电极2在阳极基板1上突起，中心电极2的突起面上设有若干平滑的凸起3。