[实用新型]一种蚀刻机入料冷却装置

权利要求书

1.一种蚀刻机入料冷却装置，包括用于存储蚀刻液的密闭的存储罐和对所述存储罐中的蚀刻液进行冷却的冷却装置，其特征在于：

所述存储罐包括内层(1)和外层(2)，所述内层通过隔板(10)分隔为左右对称的用于存储碱性蚀刻液的第一存储室(11)和用于存储酸性蚀刻液的第二存储室(12)；

所述第一存储室(11)的上方设置有碱性蚀刻液进料口，所述碱性蚀刻液进料口连接有碱性蚀刻液进料管(110)，所述第一存储室(11)左侧设置有碱性蚀刻液出料口，所述碱性蚀刻液出料口连接有碱性蚀刻液出料管(111)；

所述第二存储室(12)的上方设置有酸性蚀刻液进料口，所述酸性蚀刻液进料口连接有酸性蚀刻液进料管(120)，所述第二存储室(12)右侧设置有酸性蚀刻液出料口，所述酸性蚀刻液出料口连接有酸性蚀刻液出料管(121)；

所述第一存储室(11)内部设置有防止碱性蚀刻液沉降的第一搅拌装置；

所述第二存储室(12)内部设置有防止酸性蚀刻液沉降的第二搅拌装置；

所述冷却装置包括进液环管(31)、冷却管(32)以及出液环管(33)；所述进液环管(31)和所述出液环管(33)均为方形环管；

所述进液环管(31)、所述冷却管(32)以及所述出液环管(33)均设置在所述外层(2)中；所述进液环管(31)设置在所述内层(1)的上方；所述出液环管(33)设置在所述内层(1)的下方；所述进液环管(31)和所述出液环管(33)通过多个所述冷却管(32)连通；

所述进液环管(31)的进水口通过管道与水泵(34)的出水口相通；所述水泵(34)的进水口通过管道与冷却液箱(35)的出水口相连通，所述出液环管(33)的出水口连接有出液管(36)。

2.根据权利要求1所述的一种蚀刻机入料冷却装置，其特征在于：

所述冷却管(32)为铜管。

3.根据权利要求1所述的一种蚀刻机入料冷却装置，其特征在于：

所述第一搅拌装置包括第一搅拌轴(40)和电机(41)，所述第一搅拌轴(40)的两端与所述第一存储室(11)转动连接，所述电机(41)固定在所述存储罐的上方，所述第一搅拌轴(40)的一端与所述电机(41)的输出轴相连，所述第一搅拌轴(40)的另一端通过轴承套与所述第一存储室(11)的底部相连，所述第一搅拌轴(40)上设置有多个第一搅拌桨(401)。

4.根据权利要求1所述的一种蚀刻机入料冷却装置，其特征在于：

所述第二搅拌装置包括第二搅拌轴(50)，所述第二搅拌轴(50)的两端与所述第二存储室(12)转动连接，所述第二搅拌轴(50)的两端均通过轴承套与所述第二存储室(12)的上下内壁相连，所述第二搅拌轴(50)上设置有多个第二搅拌桨(501)，所述第二搅拌轴(50)通过动力装置驱动转动。

5.根据权利要求4所述的一种蚀刻机入料冷却装置，其特征在于：

所述动力装置包括第一带轮(60)、第二带轮(61)以及皮带(62)，所述第一带轮(60)安装在第一搅拌轴(40)上，所述第二带轮(61)安装在第二搅拌轴(50)上，且所述第一带轮(60)、所述第二带轮(61)分别位于第一存储室(11)内部、第二存储室(12)内部，所述第一带轮(60)和所述第二带轮(61)通过所述皮带(62)相连，且所述皮带(62)穿过隔板(10)。

6.根据权利要求1所述的一种蚀刻机入料冷却装置，其特征在于：

所述碱性蚀刻液出料管(111)、所述酸性蚀刻液出料管(121)上均设置有电磁阀(7)，所述电磁阀(7)与外部控制端电连接。

7.根据权利要求6所述的一种蚀刻机入料冷却装置，其特征在于：

所述第一存储室(11)的内侧壁、所述第二存储室(12)的内侧壁上均固定设置有温度传感器(8)，所述温度传感器(8)与所述控制端的显示装置电连接。