[实用新型]一种蚀刻机入料冷却装置有效
申请号: | 201922418736.1 | 申请日: | 2019-12-27 |
公开(公告)号: | CN212167145U | 公开(公告)日: | 2020-12-18 |
发明(设计)人: | 赖荣红;陈华坤;何胜太 | 申请(专利权)人: | 江西鸿宇电路科技有限公司 |
主分类号: | B01F7/18 | 分类号: | B01F7/18;B01F15/06 |
代理公司: | 南昌金轩知识产权代理有限公司 36129 | 代理人: | 邓澄宇 |
地址: | 341600 江西*** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 蚀刻 机入料 冷却 装置 | ||
本实用新型公开了一种蚀刻机入料冷却装置,涉及铝基板蚀刻技术领域,包括存储罐和冷却装置,存储罐包括内层和外层,所述内层通过隔板分隔为第一存储室和第二存储室;冷却装置包括进液环管、冷却管以及出液环管;进液环管和出液环管通过多个冷却管连通;进液环管与水泵相通;水泵与冷却液箱相连通;出液环管连接有出液管。通过使存储罐分隔为可分别存储碱性蚀刻液和酸性蚀刻液的第一存储室和第二存储室,可实现对碱性蚀刻液和酸性蚀刻液的同一装置存放;通过水泵将冷却液箱的冷却液抽入到进液环管,并依次流经进液环管、冷却管、出液环管,最终通过出液环管排出存储罐,带走存储罐中的热量,对内层的第一存储室和第二存储室中的蚀刻液冷却。
技术领域
本实用新型涉及铝基板蚀刻技术领域,具体涉及一种蚀刻机入料冷却装置。
背景技术
近年来,我国的电子工业发展十分迅猛,尤其是电子工业中的电镀,发展的更加快速,而电镀中的蚀刻液是一种用于电子电路板制造的化学原料。蚀刻液可以为碱性蚀刻液和酸性蚀刻液两种。蚀刻液在不使用时,需要通过存储装置进行存放。现有的两种蚀刻液一般是分别单独存放,存放的地方和环境不同,易造成蚀刻液的变质而失效;此外,在夏天进行蚀刻加工,由于夏天温度过高,导致存储装置内的蚀刻液温度过高,当温度较高的蚀刻液进入到蚀刻机中进行蚀刻加工,一段时间后导致蚀刻机需停机降温,影响蚀刻加工的效率。
实用新型内容
为解决现有技术问题,本实用新型通过在存储罐中设置隔板,使存储罐分隔为可分别存储碱性蚀刻液和酸性蚀刻液的第一存储室和第二存储室,可实现对碱性蚀刻液和酸性蚀刻液在同一存储装置存放;通过在存储罐中设置包括内层和外层,并在外层中通过水泵将冷却液箱的冷却液抽入到进液环管,并依次流经进液环管、冷却管、出液环管,最终通过出液环管排出存储罐,带走存储罐中的热量,对内层的第一存储室和第二存储室中的蚀刻液冷却,使其温度维持在正常存储范围内,保证了后期正常温度的蚀刻液进入蚀刻机中完成蚀刻加工。
本实用新型具体采用以下技术方案:
一种蚀刻机入料冷却装置,包括用于存储蚀刻液的密闭的存储罐和对所述存储罐中的蚀刻液进行冷却的冷却装置;
所述存储罐包括内层和外层,所述内层通过隔板分隔为左右对称的用于存储碱性蚀刻液的第一存储室和用于存储酸性蚀刻液的第二存储室;
所述第一存储室的上方设置有碱性蚀刻液进料口,所述碱性蚀刻液进料口连接有碱性蚀刻液进料管,所述第一存储室左侧设置有碱性蚀刻液出料口,所述碱性蚀刻液出料口连接有碱性蚀刻液出料管;
所述第二存储室的上方设置有酸性蚀刻液进料口,所述酸性蚀刻液进料口连接有酸性蚀刻液进料管,所述第二存储室右侧设置有酸性蚀刻液出料口,所述酸性蚀刻液出料口连接有酸性蚀刻液出料管;
所述第一存储室内部设置有防止碱性蚀刻液沉降的第一搅拌装置;
所述第二存储室内部设置有防止酸性蚀刻液沉降的第二搅拌装置;
所述冷却装置包括进液环管、冷却管以及出液环管;所述进液环管和所述出液环管均为方形环管;
所述进液环管、所述冷却管以及所述出液环管均设置在所述外层中;所述进液环管设置在所述内层的上方;所述出液环管设置在所述内层的下方;所述进液环管和所述出液环管通过多个所述冷却管连通;
所述进液环管的进水口通过管道与水泵的出水口相通;所述水泵的进水口通过管道与冷却液箱的出水口相连通,所述出液环管的出水口连接有出液管。
进一步的方案是,所述冷却管为铜管。
进一步的方案是,所述第一搅拌装置包括第一搅拌轴和电机,所述第一搅拌轴的两端与所述第一存储室转动连接,所述电机固定在所述存储罐的上方,所述第一搅拌轴的一端与所述电机的输出轴相连,所述第一搅拌轴的另一端通过轴承套与所述第一存储室的底部相连,所述第一搅拌轴上设置有多个第一搅拌桨。
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