[实用新型]一种磁场强度可调节式磁控溅射装置

权利要求书

1.一种磁场强度可调节式磁控溅射装置，包括装置主体，其特征在于：所述装置主体的内端刻有内螺纹，所述装置主体的内端螺纹连接有外螺纹套筒，所述装置主体的内侧设有多层胶布主体，多层所述胶布主体均位于靠近外螺纹套筒口处，相邻的两层胶布主体相粘接，最外层的胶布主体与外螺纹套筒的内壁粘接，多层所述胶布主体的下端均固定连接有内筒体，多个所述内筒体自上而下依次套接，且多个所述内筒体均位于装置主体内，所述装置主体的上端刻有外螺纹，所述装置主体的上端设有一对相互匹配的半杯盖，一对所述半杯盖的下端均固定连接有半圆弧型板，一对所述半圆弧型板相匹配，一对所述半圆弧型板均与装置主体的上端螺纹连接，一对所述半杯盖相互靠近的一端均开设有半圆形开口，一对所述开口内壁均固定连接有半轴承，一对所述半轴承相匹配，所述半杯盖的上端均固定连接有卡扣，一对所述半杯盖通过卡扣卡接，一对所述半杯盖相互靠近的一端均开设有伸缩杆凹槽，一对所述半杯盖的内端均开设有限位腔，所述限位腔与伸缩杆凹槽连通，一对所述伸缩杆凹槽内端设有伸缩杆，一对所述伸缩杆凹槽与伸缩杆转动连接，所述伸缩杆的两端均固定连接有限位块，所述限位块与限位腔转动连接。

2.根据权利要求1所述的磁场强度可调节式磁控溅射装置，其特征在于：所述装置主体的下端固定连接有防滑垫圈，所述防滑垫圈的表面刻有防滑纹。

3.根据权利要求1所述的磁场强度可调节式磁控溅射装置，其特征在于：所述装置主体的外端固定连接有计时器。

4.根据权利要求1所述的磁场强度可调节式磁控溅射装置，其特征在于：所述装置主体的外端固定连接有把手，所述把手的外端固定连接有保护套。

5.根据权利要求1所述的磁场强度可调节式磁控溅射装置，其特征在于：所述半杯盖的下端固定连接有密封橡胶垫，所述密封橡胶垫位于一对半圆弧型板内。