[实用新型]一种等离子刻蚀机硅片加压夹具

说明书

本实用新型公开了一种等离子刻蚀机硅片加压夹具，包括底座，底座上部两端设置有支撑柱，支撑柱外围安装有弹簧，支撑柱上部外表面具有外螺纹，底座上方设置有压板，压板两端与支撑柱滑动连接，压板上部与支撑柱连接处设置有涡轮，涡轮底部设置有压块，涡轮与压块中间具有内螺纹，外螺纹与内螺纹相配合，支撑柱一侧的压板上部两端设置有轴承座，轴承座安装有蜗杆，轴承座外侧设置有把手，涡轮与蜗杆相啮合。本实用新型的有益效果是：本实用新型设计合理，结构简单稳定，实用性强；本实用新型设计合理，结构简单稳定，实用性强；不仅能够保证压板对硅片周边施加的压力平衡均匀，提高加压效果，还可以精确的控制压板对整叠硅片加压压力的大小。

技术领域

本实用新型涉及硅片加工技术领域，具体为一种等离子刻蚀机硅片加压夹具。

背景技术

太阳能电池实际上是一个面积比较大的非线性PN结，在制作过程中，需要将扩散工序中形成的硅边缘P-N结去除，在大规模生产中，一般用CF4在高频电场中电离，产物与Si反应生成SiF4的方式来去除边缘PN结。因而反应过程中需将硅片层叠压紧。现有的硅片等离子刻蚀夹具，不能保证硅片四周的压力相平衡，使刻蚀效果不一致，不能准确控制产品质量。

实用新型内容

本实用新型的目的就在于为了解决上述问题而提供一种等离子刻蚀机硅片加压夹具。

本实用新型通过以下技术方案来实现上述目的：一种等离子刻蚀机硅片加压夹具，包括底座，所述底座上部两端设置有支撑柱，所述支撑柱外围安装有弹簧，所述支撑柱上部外表面具有外螺纹，所述底座上方设置有压板，所述压板两端与所述支撑柱滑动连接，所述压板上部与所述支撑柱连接处设置有涡轮，所述涡轮底部设置有压块，所述涡轮与所述压块中间具有内螺纹，所述外螺纹与所述内螺纹相配合，所述支撑柱一侧的所述压板上部两端设置有轴承座，所述轴承座安装有蜗杆，所述轴承座外侧设置有把手，所述把手与所述蜗杆相连接，所述涡轮与所述蜗杆相啮合。

进一步的，所述压板底部设置有压力感应板，所述压板侧面设置压力显示表。

进一步的，所述底座和所述压板四角都设置有圆倒角。

进一步的，所述弹簧底部与所述底座相连接，顶部与所述压板相连接。

进一步的，所述弹簧为柱形压缩弹簧。

本实用新型的有益效果是：本实用新型设计合理，结构简单稳定，实用性强；设置的涡轮与蜗杆相配合，使得压板下压时保持稳定平衡均匀的力，使得硅片四周的压力相平衡，准确控制产品质量；设置的压力感应板与压力显示表相配合，能够实时监测压板对硅片加压的压力，并通过旋转把手调节，进而准确控制整叠硅片的压力。

附图说明

图1是本实用新型的立体结构示意图；

图2是本实用新型的主视图；

图3是本实用新型中涡轮与压块配合的立体结构示意图。

图中：1-底座、2-支撑柱、3-弹簧、4-外螺纹、5-压板、6-涡轮、7-压块、8-内螺纹、9-轴承座、10-蜗杆、11-把手、12-压力感应板、13-压力显示表。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。