[实用新型]掩模去胶通用耐酸手臂有效
| 申请号： | 201922429005.7 | 申请日： | 2019-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN211603844U | 公开（公告）日： | 2020-09-29 |
| 发明（设计）人： | 张月圆;薛文卿;朱磊 | 申请（专利权）人： | 无锡中微掩模电子有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42 |
| 代理公司： | 连云港联创专利代理事务所(特殊普通合伙) 32330 | 代理人： | 谷金颖 |
| 地址： | 214000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 掩模去胶 通用 耐酸 手臂 | ||
1.掩模去胶通用耐酸手臂，包括臂管(1)，其特征在于：所述臂管(1)底端表面开设有连接孔(5)，所述连接孔(5)顶端开设有贯穿孔(4),所述贯穿孔(4)与臂管(1)内壁相互贯通，所述连接孔(5)内部顶端设置有第一密封垫(7)，所述臂管(1)底端设置有第一扇形喷头(2)，所述第一扇形喷头(2)顶端分别设置有加固环(3)、密封环(6)以及第二密封垫(8)，所述第一扇形喷头(2)贯穿加固环(3)、密封环(6)以及第二密封垫(8)，所述密封环(6)位于加固环(3)顶端，所述第二密封垫(8)位于密封环(6)顶端，所述第二密封垫(8)、密封环(6)以及第一扇形喷头(2)顶端均位于连接孔(5)内部，所述第一密封垫(7)底端位于第一扇形喷头(2)顶端。
2.根据权利要求1所述的掩模去胶通用耐酸手臂，其特征在于：所述连接孔(5)数量为六，所述连接孔(5)均匀分布在密封环(6)底端表面。
3.根据权利要求1所述的掩模去胶通用耐酸手臂，其特征在于：所述两个相邻连接孔(5)之间的间距为一点二厘米，所述臂管(1)两端与连接孔(5)之间的间距均为一厘米，所述臂管(1)长度为八厘米。
4.根据权利要求1所述的掩模去胶通用耐酸手臂，其特征在于：所述第一扇形喷头(2)均与加固环(3)以及密封环(6)固定连接，所述第二密封垫(8)与密封环(6)固定连接。
5.根据权利要求1所述的掩模去胶通用耐酸手臂，其特征在于：所述贯穿孔(4)与连接孔(5)相互贯通，所述第一密封垫(7)内径与贯穿孔(4)内径一致。
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