[实用新型]一种硅片酸腐蚀系统

权利要求书

1.一种硅片酸腐蚀系统，包括腐蚀槽（2），其特征在于：还包括恒温槽（1）和补液槽（3），外部酸液通过管道分别与补液槽（3）和恒温槽（1）连接，补液槽（3）和外部气体分别通过管道接入腐蚀槽（2），腐蚀槽（2）上设有排液管，腐蚀槽（2）所在位置高于恒温槽（1），恒温槽（1）和腐蚀槽（2）之间通过2根管道连通，其中一根管道上设有酸泵（4），用于从恒温槽（1）向腐蚀槽（2）输送酸液，另一根管道用于腐蚀槽（2）内的酸液依靠重力流回恒温槽（1），由此使酸液在恒温槽（1）与腐蚀槽（2）之间循环流动，恒温槽（1）内设有热交换管（14），热交换管（14）内接入外部不同温度的水与恒温槽（1）内的酸液进行热量交换。

2.根据权利要求1所述的一种硅片酸腐蚀系统，其特征在于：所述腐蚀槽（2）内设有温控探头（13）。

3.根据权利要求1所述的一种硅片酸腐蚀系统，其特征在于：所述外部酸液与补液槽（3）以及恒温槽（1）之间的连接管路上分别设有气动阀A（5）和气动阀B（6），补液槽（3）与腐蚀槽（2）之间的连接管路上设有气动阀C（7）和补酸流量计（10），外部气体与腐蚀槽（2）之间的连接管路上设有气动阀D（8）和气体流量计（11），腐蚀槽（2）的排液管上设有气动阀E（9）和排液流量计（12）。