[实用新型]一种靶材模压成型模具

权利要求书

1.一种靶材模压成型模具，包括模压上模和模压下模，其特征在于，在下模中心位置设有凹槽，形成定位部，凹槽底部根据靶材溅射面形状设计成平面或弧面；上模根据靶材背面环形凹槽设计成环形凸起，边缘平直，保证上模凸起压入靶材背面时，靶材外缘不会翘起；上模环形凸起的内外两侧呈反向的锥台型，边缘加圆倒角，减小压入阻力。

2.根据权利要求1所述一种靶材模压成型模具，其特征在于，所述下模凹槽弧面半径R1与靶材弧面半径R2相同，下模凹槽直径L比靶材外径I大2～4mm。

3.根据权利要求1所述一种靶材模压成型模具，其特征在于，所述上模环形凸起的底部为远离靶材一侧，上模环形凸起底部外径A比靶材环形凹槽外径G小2～3mm，上模环形凸起底部内径B比靶材中心凸起外径H大2～3mm，上模环形凸起中心深度E与靶材中心凸起高度K相同，上模环形凸起高度F与靶材环形凹槽深度J相同。

4.根据权利要求1所述一种靶材模压成型模具，其特征在于，所述上模环形凸起外斜面角度C为15～45°；上模环形凸起内斜面角度D为15～45°。