[实用新型]一种靶材模压成型模具

说明书

本实用新型公开了溅射靶材加工技术领域的一种靶材模压成型模具。包括：模压上模和模压下模。在下模中心位置设有凹槽，形成定位部，凹槽底部根据靶材溅射面形状设计成平面或弧面。上模根据靶材背面环形凹槽设计成环形凸起,边缘平直,保证上模凸起压入靶材背面时,靶材外缘不会翘起。上模环形凸起呈锥台型，顶端边缘加圆倒角，减小压入阻力。通过该模具模压后的靶坯，尺寸接近靶材成品要求，机加工时损耗量少，可减少原材料下料量；机加工时损耗量减少，可降低刀具磨损，刀具使用寿命延长，需要的加工时间减少，可缩短靶材加工周期，节省成本；该模具可与油压机进行匹配，对设备要求低，适用材料广泛。

技术领域

本实用新型属于溅射靶材加工技术领域，特别涉及一种靶材模压成型模具。

背景技术

对于目前MRC机台溅射用靶材，靶材溅射面有弧度，背面有环形凹槽，常规加工工艺流程是将原材料经过热机械化处理成圆形靶坯后，上下两面压平，直接机加工到成品，加工弧面和环形凹槽，材料损耗量大，原材料下料量多，成本高；加工过程刀具磨损严重，刀具使用寿命缩短；加工周期长，整体成本高。

因此，为减少原材料下料量，需要在机加工前将靶坯处理成与靶材成品尺寸接近的形状，需要一种靶材模压成型模具。

实用新型内容

本实用新型的目的是针对现有技术的不足，提供一种靶材模压成型模具，包括模压上模和模压下模，在下模中心位置设有凹槽，形成定位部，凹槽底部根据靶材溅射面形状设计成平面或弧面；上模根据靶材背面环形凹槽设计成环形凸起，边缘平直，保证上模凸起压入靶材背面时，靶材外缘不会翘起；上模环形凸起的内外两侧呈反向的锥台型，边缘加圆倒角，减小压入阻力。

所述下模凹槽弧面半径R1与靶材弧面半径R2相同，下模凹槽直径L比靶材外径I大2～4mm。

所述上模环形凸起的底部为远离靶材一侧，上模环形凸起底部外径A比靶材环形凹槽外径G小2～3mm，上模环形凸起底部内径B比靶材中心凸起外径H大2～3mm，上模环形凸起中心深度E与靶材中心凸起高度K相同，上模环形凸起高度F与靶材环形凹槽深度J相同。

所述上模环形凸起外斜面角度C为15～45°；上模环形凸起内斜面角度D为15～45°

本实用新型的有益效果在于：

1.通过所述模具模压后的靶坯，尺寸接近靶材成品要求，机加工时损耗量少，可减少原材料下料量，节省成本；

2.本发明所述模具的机加工时损耗量减少，可降低刀具磨损，延长刀具使用寿命；

3.采用本发明所述模具制备靶材时，机加工时损耗量减少，需要的加工时间减少，可缩短靶材加工周期；

4.所述模具可与油压机进行匹配，对设备要求低，适用材料广泛。

附图说明

图1为实施例中模具上下模和靶材三者模压前整体装配图；

图2为实施例中模具上下模和靶材三者模压后整体装配图；

图3为实施例中所述靶材模压成型模具上模的俯视图；

图4为实施例中所述靶材模压成型模具上模的轴向剖面图；

图5为实施例中所述靶材的俯视图；

图6为实施例中所述靶材的轴向剖面图；

图7为实施例中所述靶材模压成型模具下模的俯视图；

图8为实施例中所述靶材模压成型模具下模的轴向剖面图；