[实用新型]一种新型半导体测试设备有效
申请号: | 201922437513.X | 申请日: | 2019-12-30 |
公开(公告)号: | CN211698075U | 公开(公告)日: | 2020-10-16 |
发明(设计)人: | 林知微;郭宵;黄凱麟 | 申请(专利权)人: | 北京理工大学 |
主分类号: | G01R31/28 | 分类号: | G01R31/28;G01R1/04 |
代理公司: | 济南旌励知识产权代理事务所(普通合伙) 31310 | 代理人: | 单玉刚 |
地址: | 100081 北京*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 新型 半导体 测试 设备 | ||
1.一种新型半导体测试设备,其特征在于:包括箱体(1),箱体(1)顶面和底面靠近右端处均开设第一通孔(2),箱体(1)内设置竖直的第一矩形套筒(3),第一矩形套筒(3)上下两端面位于对应的第一通孔(2)内,且第一矩形套筒(3)与第一通孔(2)均固定连接,第一矩形套筒(3)内壁中部固定安装水平的第一矩形铜环(4),第一通孔(2)一侧均设置第二通孔(5),箱体(1)内设置竖直的第二矩形套筒(6),第二矩形套筒(6)上下两端面位于对应的第二通孔(5)内,第二通孔(5)前后侧面均开设左右方向的导向槽(7),导向槽(7)内均安装滑块(8),第二矩形套筒(6)与滑块(8)均固定连接,第二矩形套筒(6)内壁中部固定安装水平的第二矩形铜环(9),第二矩形套筒(6)后侧面对应第二矩形铜环(9)的位置处开设第三通孔(10),第三通孔(10)内设置铜块(11),铜块(11)与第二矩形铜环(9)固定连接,箱体(1)内部后侧面靠近右端处对应第一矩形铜环(4)的位置处固定安装第一铜条(12),第一铜条(12)与第一矩形铜环(4)电性连接,箱体(1)内部后侧面对应第二矩形铜环(9)的位置处固定安装水平的第二铜条(13),铜块(11)与第二铜条(13)表面接触配合,第一铜条(12)与第二铜条(13)接入测试电路中。
2.根据权利要求1所述的一种新型半导体测试设备,其特征在于:所述的第二矩形套筒(6)前侧面中部设置连杆(14),连杆(14)一端与第二矩形套筒(6)固定连接,连杆(14)另一端固定安装水平的齿条(15),箱体(1)前侧面对应齿条(15)的位置处开设第四通孔(16),第四通孔(16)上下侧面均开设盲孔(17),第四通孔(16)内设置竖直的转轴(18),转轴(18)上下端面位于对应的盲孔(17)内,盲孔(17)与转轴(18)均通过轴承连接,转轴(18)中部套装齿轮(19),齿轮(19)齿条(15)相互啮合。
3.根据权利要求1所述的一种新型半导体测试设备,其特征在于:所述的第一矩形铜环(4)和第二矩形铜环(9)内侧面均固定安装两块对称分布的弹性铜片(20),且其凸面相对,凸面之间的距离小于半导体芯片引脚的直径。
4.根据权利要求1所述的一种新型半导体测试设备,其特征在于:所述的铜块(11)与第二铜条(13)之间设置数个凸台(21),凸台(21)具有导电性,凸台(21)与铜块(11)之间固定连接,凸台(21)与第二铜条(13)表面接触配合。
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