[实用新型]一种晶片清洗离心机

说明书

一种晶片清洗离心机，包括设备底座，底座上方设有机壳，机壳分为壳身与壳顶。有益效果在于：使用本方案所旨的设计结构，将晶片放置在清洗盒后，按下开关，伸缩杆下沉至装有清洗液的清洗盘中，驱动电机通电后带动清洗盘转动，达到清洗晶片的目的，之后再启动伸缩杆，配合热风机的热风进行干燥，整套流程完毕后抬起壳顶就能够取出晶片，干燥效果佳。

技术领域

本实用新型属于晶片干燥技术领域，特别涉及一种晶片清洗离心机。

背景技术

晶片是由晶棒根据设计尺寸切割，再经过车削，研磨，腐蚀等工艺加工成的。晶片表面总有一层由磨料和石英微粒构成的破坏层，再经过腐蚀成型，腐蚀工序加工完成后，则需要进行清洗工序，结束后再用无水乙醇脱水，最后烘干，但现有技术在清洗时受到晶片叠放的影响，会造成晶片清洗不彻底，带来水印、脏污等问题，同时影响干燥，造成晶片干燥不彻底等问题，一些非烘干清洗机使用的是离心机来解决晶片水分分体，这些离心设备通常内置清洗池，达到清洗甩干一体化的作用，但这些离心设备的清洗液利用率太低，资源浪费严重，且清洗桶只靠电机联动轴支撑，对电机联动轴造成很大的负担。

所以，生产者希望研发一种清洗离心机，在使其既能达到清洗晶片的作用又能够在清洗后使晶片充分脱水干燥，与此同时尽量减少资源浪费和零件损耗。

实用新型内容

本实用新型的目的就在于提出一种晶片清洗离心机，该清洗离心机能够使内部晶片在得到充分清洗的同时还能够得到干燥，在一定程度上降低资源损耗且不易损坏。

为解决上述技术问题，本实用新型采用如下技术方案：

一种晶片清洗离心机，包括设备底座，所述底座上方设有机壳，所述机壳分为壳身与壳顶，所述壳身连接所述壳顶与所述底座，所述底座表面设有截面为半圆的凹纹，所述凹纹内设有支撑球，所述底座下方设有驱动电机，所述驱动电机联动支撑轴，所述支撑轴穿过所述底座，所述支撑轴顶端设有清洗底盘，所述清洗底盘贴合所述支撑球，所述清洗底盘侧面设有侧板，所述侧板靠近所述清洗底盘处设有出液管，所述壳身设有疏水管及进水管，所述出水管通过软管连接过滤装置，所述过滤装置一端通过软管连接所述疏水管，另一端通过软管连接所述进水管，所述壳身与所述底座固定连接，所述壳顶底面设有凹槽，所述壳顶通过所述凹槽卡合在所属壳身上，所述壳顶设有热风机，所述热风机设有若干风道，所述风道穿过所述壳顶与所述底座水平垂直，所述风道末端位于所述侧板上方，所述热风机与所述壳顶间设有电机座，所述电机座联动电控伸缩杆，所述伸缩杆穿过所述壳顶，所述伸缩杆上设有支撑件，所述支撑件末端设有清洗盒。

进一步的，所述凹槽内设有密封圈。

进一步的，所述清洗盒为镂空网状清洗盒。

进一步的，所述风道上设有若干出风管口，所述出风管口均向所述伸缩杆轴心设置。

进一步的，所述底座下方设有稳定支架。

进一步的，所述电机座一旁设有电控开关，所述开关控制所述电控伸缩杆。

本实用新型的有益效果在于：使用本方案所旨的设计结构，将晶片放置在清洗盒后，按下开关，伸缩杆下沉至装有清洗液的清洗盘中，驱动电机通电后带动清洗盘转动，达到清洗晶片的目的，之后再启动伸缩杆，配合热风机的热风进行干燥，整套流程完毕后抬起壳顶就能够取出晶片，干燥效果佳。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型伸缩杆俯视图；

图中标记为：1-底座、2-机壳、3-过滤装置、11-支撑球、12-驱动电机、13-支撑轴、14-清洗底盘、15-侧板、16-出液管、21-壳身、 22-壳顶、23-疏水管、24-进水管、25-热风机、26-风道、27-电机座、 28-伸缩杆、261-出风管口、281-支撑件、282-清洗盒。