[实用新型]一种高纯氯硅烷的多功能分配盘有效
| 申请号： | 201922450860.6 | 申请日： | 2019-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN211262827U | 公开（公告）日： | 2020-08-14 |
| 发明（设计）人： | 饶平;罗全安;何寿林 | 申请（专利权）人： | 武汉新硅科技潜江有限公司 |
| 主分类号： | G01N1/10 | 分类号： | G01N1/10;G01N33/00;B08B5/02;B08B9/032 |
| 代理公司： | 武汉今天智汇专利代理事务所(普通合伙) 42228 | 代理人： | 邓寅杰 |
| 地址： | 433100 湖北省潜*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 高纯 硅烷 多功能 分配 | ||
【权利要求书】：
1.一种高纯氯硅烷的多功能分配盘，其特征在于：包括四条物料管路，分别为产品过料管路、原料过料管路、分析与检测过料管路和氮气吹扫过料管路；
所述产品过料管路的一端设有产品进料阀(1)，另一端设有产品出料阀(9)；
所述原料过料管路的一端设有原料进料阀(2)，另一端设有原料出料阀(10)；
所述分析与检测过料管路一端设有第一分析与检测阀(3)，另一端设有第二分析与检测阀(11)；
所述氮气吹扫过料管路一端设有第一氮气吹扫阀(4)，另一端设有第二氮气吹扫阀(12)；
所述四条物料管路在中间段合并为两条物料管路，所述两条物料管路中间设有连通管路将所述两条物料管路连通，所述连通管路上设有可视流量筒(13)，所述连通管路与所述两条物料管路的两个连接处每个连接处两侧各设一个隔断阀。
2.根据权利要求1所述一种高纯氯硅烷的多功能分配盘，其特征在于：所述第一分析与检测阀(3)的管路连接检测设备进行实时在线分析与检测。
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