[实用新型]一种可吸附不同规格电池片真空工作平台有效
| 申请号： | 201922456232.9 | 申请日： | 2019-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN211088239U | 公开（公告）日： | 2020-07-24 |
| 发明（设计）人： | 杨峰;李朋波;洪昀;秦太平 | 申请（专利权）人： | 杭州中为光电技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/683 | 分类号： | H01L21/683;H01L31/18;H01L31/0224 |
| 代理公司： | 浙江英普律师事务所 33238 | 代理人： | 陈小良 |
| 地址： | 310030 浙江省杭州*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 吸附 不同 规格 电池 真空 工作 平台 | ||
【权利要求书】：
1.一种可吸附不同规格电池片真空工作平台，其特征在于：包括具有凹形槽的工作台固定座(1)；
固定于所述凹形槽底部的光源(2)；
设置于所述凹形槽内，且位于光源(2)上方的密封透明件(3)；
固定于工作台固定座(1)上面的玻璃台(4)，且玻璃台(4)覆盖所述凹形槽。
2.如权利要求1所述的可吸附不同规格电池片真空工作平台，其特征在于：密封透明件(3)上开设有真空腔室一(31)、真空腔室二(32)，在真空腔室一(31)的两端开设有接气孔一(33)，在真空腔室二的两端开设有接气孔二(34)，且真空腔室一(31)、真空腔室二(32)通过接气孔一(33)、接气孔二(34)连接外部真空设备。
3.如权利要求2所述的可吸附不同规格电池片真空工作平台，其特征在于：真空腔室一(31)由内真空腔室(311)、外真空腔室(312)组成，且内真空腔室(311)、外真空腔室(312)相互连通。
4.如权利要求1所述的可吸附不同规格电池片真空工作平台，其特征在于：玻璃台(4)上开设有真空吸孔一(41)、真空吸孔二(42)、真空吸孔三(43)，真空吸孔一(41)连接内真空腔室(311)，真空吸孔二(42)连接外真空腔室(312)，真空吸孔三(43)连接真空腔室二(32)。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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