[实用新型]一种电热式MEMS驱动臂有效
| 申请号： | 201922458582.9 | 申请日： | 2019-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN211445040U | 公开（公告）日： | 2020-09-08 |
| 发明（设计）人： | 王鹏;黄兆兴;谢会开 | 申请（专利权）人： | 无锡微奥科技有限公司 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;B81B7/02;B81C1/00 |
| 代理公司： | 无锡市朗高知识产权代理有限公司 32262 | 代理人： | 赵华 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市新吴区菱湖*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 电热 mems 驱动 | ||
1.一种电热式MEMS驱动臂，该电热式MEMS驱动臂一端连接衬底（1），另一端连接被驱动单元（9），该电热式MEMS驱动臂包括第一结构层（6）和第二结构层（7），其特征在于还包括在第二结构层（7）的部分或整体进行掺杂形成的加热电阻层（4）。
2.根据权利要求1所述的一种电热式MEMS驱动臂，其特征在于还包括绝缘层（5），该绝缘层（5）位于加热电阻层（4）的上方。
3.根据权利要求1所述的一种电热式MEMS驱动臂，其特征在于所述第一结构层（6）是金属铝或聚合物，所述第二结构层（7）是高阻硅或P型硅或N型硅。
4.根据权利要求1所述的一种电热式MEMS驱动臂，其特征在于所述被驱动单元（9）是微镜镜面或微结构平台。
5.根据权利要求1所述的一种电热式MEMS驱动臂，其特征在于所述电热式MEMS驱动臂是折叠梁结构，该折叠梁结构的第一结构层（6）被分成三段，分别位于该折叠梁结构的三段梁上。
6.根据权利要求1所述的一种电热式MEMS驱动臂，其特征在于所述电热式MEMS驱动臂是U形梁结构或带弯曲的梁结构。
7.根据权利要求1所述的一种电热式MEMS驱动臂，其特征在于所述电热式MEMS驱动臂上的第一结构层（6）不连续。
8.根据权利要求1所述的一种电热式MEMS驱动臂，其特征在于还包括Via通孔和金属引线，金属引线通过Via通孔连接在加热电阻层（4）上。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于无锡微奥科技有限公司，未经无锡微奥科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201922458582.9/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种膜材料清洁机
- 下一篇：一种用于无人机齿坯生产加工用抛光装置
