[实用新型]一种电热式MEMS驱动臂

说明书

一种电热式MEMS驱动臂，该电热式MEMS驱动臂一端连接衬底（1），另一端连接被驱动单元（9），该电热式MEMS驱动臂包括第一结构层（6）和第二结构层（7），其特征在于还包括在第二结构层（7）的部分或整体进行掺杂形成的加热电阻层（4）。优点：本发明创造的发明点在于硅既作为结构层的同时，由作为加热电阻层，免除了还要做加热电阻层的麻烦，采用离子注入的方法制作加热电阻层，简化了电热式MEMS驱动臂的加热电阻层的工艺步骤，提供了效率。

技术领域

本实用新型涉及的是一种电热式MEMS驱动臂，属于微机械电子系统领域。

背景技术

基于热双层材料（Bimorph）结构的电热式MEMS驱动臂通过对导电回路层（加热电阻层）施加电压产生的焦耳热对器件结构进行驱动，具有大转角、大位移、低驱动电压等优点。现有电热MEMS器件加热电阻层的制作工艺（如CN106066535A、CN104020561B）只能在Bimorph结构层中生长导电金属薄膜层并对导电金属薄膜层进行绝缘包裹，该工艺需要累积制备多层薄膜，引入了多层薄膜的应力、厚度、氧化、扩散等不可控因素，增加了制作器件的工艺难度，恶化了器件的工艺一致性和结构稳定性。

发明内容

本实用新型所要解决的技术问题是如何简化制作电热式MEMS驱动臂的加热电阻层工艺，提高加热电阻层工艺一致性和稳定性的技术问题。

本实用新型的技术方案：一种电热式MEMS驱动臂，该电热式MEMS驱动臂一端连接衬底1，另一端连接被驱动单元9，该电热式MEMS驱动臂包括第一结构层6和第二结构层7，其特征在于还包括在第二结构层7的部分或整体进行掺杂形成的加热电阻层4。

该一种电热式MEMS驱动臂还包括绝缘层5，该绝缘层5位于加热电阻层4的上方。

所述第一结构层6是金属铝或聚合物，所述第二结构层7是高阻硅或P型硅或N型硅。

所述被驱动单元9是微镜镜面或微结构平台。

所述电热式MEMS驱动臂是折叠梁结构，该折叠梁结构的第一结构层6被分成三段，分别位于该折叠梁结构的三段梁上。

所述电热式MEMS驱动臂是U形梁结构或带弯曲的梁结构。

所述电热式MEMS驱动臂上的第一结构层6不连续。

该一种电热式MEMS驱动臂还包括Via通孔和金属引线，金属引线通过Via通孔连接在加热电阻层4上。

本实用新型的优点：本发明创造的发明点在于硅既作为结构层的同时，由作为加热电阻层，免除了还要做加热电阻层的麻烦，采用离子注入的方法制作加热电阻层，简化了电热式MEMS驱动臂的加热电阻层的工艺步骤，提供了效率。

附图说明

图1是一种电热式MEMS驱动臂的结构示意图。

图2是图1中加热电阻层4的示意图。

图3是实施例1的制作流程示意图。

图4是实施例2的制作流程示意图。

图5是实施例3的制作流程示意图。

图6是实施例4的制作流程示意图。

图7是实施例5的制作流程示意图。

图8是实施例6的制作流程示意图。

图9是电热式MEMS驱动臂的俯视图。

图10是另一种电热式MEMS驱动臂的俯视图。

图11是图9加热发生的形变结果。

图12是图10加热发生的形变结果。