[实用新型]蚀刻箱进出料结构有效
| 申请号： | 201922460839.4 | 申请日： | 2019-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN211522322U | 公开（公告）日： | 2020-09-18 |
| 发明（设计）人： | 陈斌;卢耀普;黄治国;卢振华;刘国强 | 申请（专利权）人： | 悦虎晶芯电路（苏州）股份有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/08 | 分类号： | C23F1/08 |
| 代理公司： | 苏州国诚专利代理有限公司 32293 | 代理人： | 李凤娇 |
| 地址： | 215000 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 蚀刻 进出 结构 | ||
1.一种蚀刻箱进出料结构，包括蚀刻箱(1)，所述蚀刻箱(1)内设置有电路板和蚀刻液，其特征在于：所述蚀刻箱(1)的侧壁上设置有进液口、进气口、出液口和出气口，所述进液口与出液口设置于所述蚀刻箱(1)的相对两侧，所述进气口设置于所述进液口的上方，所述出气口设置于所述出液口的上方。
2.根据权利要求1所述的蚀刻箱进出料结构，其特征在于：所述进液口设置有多个，每个所述进液口均设置有进液管(7)。
3.根据权利要求2所述的蚀刻箱进出料结构，其特征在于：所述进液管(7)伸入所述蚀刻箱(1)的内部，所述进液管(7)的管口朝向所述电路板。
4.根据权利要求3所述的蚀刻箱进出料结构，其特征在于：所述进液口外设置有增压泵(2)，所述增压泵(2)与所述进液管(7)连接。
5.根据权利要求1所述的蚀刻箱进出料结构，其特征在于：所述进气口处设置有进气管道(4)，所述进气管道(4)的末端设置有扁口形出风口(4a)。
6.根据权利要求5所述的蚀刻箱进出料结构，其特征在于：所述出风口(4a)向下倾斜并朝向蚀刻液的液面。
7.根据权利要求6所述的蚀刻箱进出料结构，其特征在于：所述进气管道(4)与压缩机(3)连接。
8.根据权利要求1所述的蚀刻箱进出料结构，其特征在于：所述出液口外连接有出液管(5)，所述出液管(5)为开口朝上的弧形管。
9.根据权利要求1所述的蚀刻箱进出料结构，其特征在于：所述出气口与废气收集管道(6)连接，所述废气收集管道(6)内设置有排风扇。
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