[实用新型]一种超大电路板清洗等离子体处理装置

权利要求书

1.一种超大电路板清洗等离子体处理装置，其特征在于，包括机架(1)、传输装置(2)、进料区(3)、出料区(4)及腔体；

所述传输装置(2)、腔体均设置在所述机架(1)上端；

所述腔体包括预真空腔体(501)、处理腔体(502)、破真空腔体(503)，所述处理腔体(502)位于所述预真空腔体(501)和破真空腔体(503)之间；所述进料区(3)与所述预真空腔体(501)相邻，所述出料区(4)与所述破真空腔体(503)相邻。

2.根据权利要求1所述的超大电路板清洗等离子体处理装置，其特征在于，该装置还包括升降闸门(6)，所述升降闸门(6)包括：

第一升降闸门，其设置在所述进料区(3)与所述预真空腔体(501)之间；

第二升降闸门，其设置在所述预真空腔体(501)与所述处理腔体(502)之间；

第三升降闸门，其设置在所述处理腔体(502)与所述破真空腔体(503)之间；

第四升降闸门，其设置在所述破真空腔体(503)与所述出料区(4)之间。

3.根据权利要求1所述的超大电路板清洗等离子体处理装置，其特征在于，所述传输装置(2)包括辊轮(201)、主动链轮(202)、支架(203)，所述支架(203)包括左支架(203)和右支架(203)，所述辊轮(201)两端分别固定在所述左支架(203)和右支架(203)上，且所述辊轮(201)一端与所述主动链轮(202)固定连接。

4.根据权利要求3所述的超大电路板清洗等离子体处理装置，其特征在于，所述处理腔体(502)内包括挂板(521)、正极板(522)、绝缘板(523)、绝缘罩，所述挂板(521)设置在所述处理腔体(502)内的两侧，所述绝缘罩设置在所述正极板(522)的四周，所述绝缘罩固定在所述挂板(521)上，所述绝缘板(523)设置在所述支架(203)上方。

5.根据权利要求2所述的超大电路板清洗等离子体处理装置，其特征在于，所述升降闸门(6)包括闸门腔体(601)、浮动闸门(602)、气缸(603)、伸缩杆(604)、框架(605)；

所述伸缩杆(604)、框架(605)均设置在所述闸门腔体(601)内；所述伸缩杆(604) 一端与所述气缸(603)连接，另一端与所述框架(605)固定连接。

6.根据权利要求5所述的超大电路板清洗等离子体处理装置，其特征在于，所述闸门腔体(601)两侧均设置有相对应的开口(606)，所述浮动闸门(602)包括第一浮动闸门(602)和第二浮动闸门(602)，所述第一浮动闸门(602)和第二浮动闸门(602)分别对应所述闸门腔体(601)两侧的开口(606)。

7.根据权利要求5所述的超大电路板清洗等离子体处理装置，其特征在于，所述框架(605)的两端分别设置有深沟球轴承(607)，所述闸门腔体(601)内设置有与所述深沟球轴承(607)对应的凹槽，以使得所述框架(605)能够相对所述闸门腔体(601)上下移动。

8.根据权利要求5所述的超大电路板清洗等离子体处理装置，其特征在于，所述框架(605)上设置有闸门门板(608)，所述闸门门板(608)设置在所述框架(605)和所述浮动闸门(602)之间。

9.根据权利要求8所述的超大电路板清洗等离子体处理装置，其特征在于，所述闸门门板(608)的一侧设置有固定筒(609)，所述固定筒(609)连接有滑板(610)，所述滑板(610)与所述浮动闸门(602)固定连接。