[实用新型]一种用于化学气相沉积设备的安全供气系统

权利要求书

1.一种用于化学气相沉积设备的安全供气系统，其特征在于：

包括第一到六管道；

其中第一到三管道平行设置，进气口连接供气瓶，并在管道上依次设置有进气阀、减压阀、进气阀、气体流量计；

第四管道进气口连接供气瓶，近供气瓶的管道上设置有减压阀，出减压阀的管道分为两根支管，支管上设置有进气阀；其中，一根支管末端连通到第二管道进气阀和减压阀之间的管道，另一根连通到第三管道进气阀和减压阀之间的管道；

第五管道设置有排气阀并连通到第三管道减压阀和进气阀之间的管道。

2.根据权利要求1所述的供气系统，其特征在于：所述第一管道的供气瓶为保护气体瓶。

3.根据权利要求1所述的供气系统，其特征在于：所述第二管道的供气瓶为氢气瓶。

4.根据权利要求1所述的供气系统，其特征在于：所述第三管道的供气瓶为氯化氢气瓶。

5.根据权利要求1所述的供气系统，其特征在于：所述第四管道的供气瓶为保护气体瓶。

6.根据权利要求1所述的供气系统，其特征在于：所述第四管道与第二、三管道垂直相连。

7.据权利要求2所述的供气系统，其特征在于：所述保护气体包括氮气和氩气。