[实用新型]一种用于化学气相沉积设备的安全供气系统

说明书

本实用新型公开了一种用于化学气相沉积设备的安全供气系统，包括第一到六管道；其中第一到三管道平行设置，进气口连接供气瓶，并在管道上依次设置有进气阀、减压阀、进气阀、气体流量计；第四管道进气口连接供气瓶，近供气瓶的管道上设置有减压阀，出减压阀的管道分为两根支管，支管上设置有进气阀；其中，一根支管末端连通到第二管道进气阀和减压阀之间的管道，另一根连通到第三管道进气阀和减压阀之间的管道；第五管道设置有排气阀并连通到第三管道减压阀和进气阀之间的管道。本装置在反应前能够有效排除杂质气体，在反应结束后能够彻底排除残留气体，提高反应准确性，降低安全隐患，提高零件工作寿命。

技术领域

本实用新型涉及化学气相沉积设备供气领域，具体涉及一种用于化学气相沉积设备的安全供气系统。

背景技术

目前高温涂层特别是铝化物涂层的制备越来越趋向于利用化学气相沉积法来实现。化学气相沉积法的原理是将所需的沉积元素以气态卤化物(渗剂)的形式导入高温状态下的沉积室中，经过化学反应后气态卤化物分解出活性较高的沉积元素，此元素沉积到基体表面形成一层固态薄膜。化学气相沉积法制备铝化物涂层一般采用氯化氢气体作为供铝剂反应气体，氢气作为载气，氮气或氩气等惰性气体作为保护气体。然而反应结束后仍有氢气、氯化氢气体等残留于设备内部如管道、阀门处，设备停止后其内部残余的氯化氢气体与空气中的水反应形成盐酸，腐蚀设备的零部件，损害了实验结果的可靠性；同时氢气爆炸极限是体积浓度在4.0％～75.6％之间，化学气相沉积法制备铝化物涂层需要高温条件，而设备停止后在空气环境中各零部件中残余有一定浓度的氢气，存有安全隐患。

实用新型内容

为了解决上述技术问题，本实用新型提供一种用于化学气相沉积设备的安全供气系统，用以保护氯化氢进气管道、进气阀、减压阀等阀门以及气体流量计等易受盐酸腐蚀零部件，从而延长零部件使用寿命；同时及时排空设备内残余氢气，杜绝安全隐患。

本实用新型提供的技术方案如下：

一种用于化学气相沉积设备的安全供气系统，

包括第一到六管道；

其中第一到三管道平行设置，进气口连接供气瓶，并在管道上依次设置有进气阀、减压阀、进气阀、气体流量计；

第四管道进气口连接供气瓶，近供气瓶的管道上设置有减压阀，出减压阀的管道分为两根支管，支管上设置有进气阀；其中，一根支管末端连通到第二管道进气阀和减压阀之间的管道，另一根连通到第三管道进气阀和减压阀之间的管道；

第五管道设置有排气阀并连通到第三管道减压阀和进气阀之间的管道。

进一步，所述第一管道的供气瓶为保护气体瓶。

进一步，所述第二管道的供气瓶为氢气瓶。

进一步，所述第三管道的供气瓶为氯化氢气瓶。

进一步，所述第四管道的供气瓶为氩气瓶。

进一步，所述第四管道与第二、三管道垂直相连。

进一步，所述保护气体包括氮气和氩气。

本实用新型的有益效果：

1.本实用新型提供一种用于化学气相沉积设备的安全供气系统。在反应开始前氮气将通过进气管道到达反应室并从尾气处理系统排出，带走设备内部杂质，提高反应结果的准确性；反应结束后氮气再一次通过上述零部件并排出，带走残余的氯化氢气体以及氢气，防止诸如管道、气体流量计、阀门等零部件遭受盐酸的腐蚀，同时杜绝一定浓度氢气在空气中发生爆炸的安全隐患。

2.本实用新型可进行二轮清洗，在反应结束，第一轮清洁完成后，能对关键零部件第三减压阀进行二次清洁，彻底排出残余氯化氢气体，提高零件的工作寿命。

附图说明