[实用新型]一种刻蚀槽

权利要求书

1.一种刻蚀槽，其特征在于，包括有槽体和安装在槽体内的硅片输送机构，所述硅片输送机构由若干个依次间隔连接的送料单元构成，每个送料单元包括有两个支撑板和位于两个支撑板之间的若干辊筒，支撑板包括有固定在槽体上的底座部分和与底座部分一体连接的挡板部分，所述辊筒的两端分别通过轴承可转动的安装有活动块，挡板部分设有供活动块上下移动的安装槽，活动块通过调节杆调节在安装槽内的高度，所述辊筒的一端穿过轴承后连接有齿轮，所有齿轮通过与齿轮配合的链条联动，链条由驱动机构驱动转动。

2.如权利要求1所述的刻蚀槽，其特征在于，所述活动块的两侧分别固定有导向条，安装槽的两侧分别设有供导向条上下移动的导向槽。

3.如权利要求2所述的刻蚀槽，其特征在于，所述活动块的上端设有连接柱，连接柱内具有空腔，空腔设有可在空腔内水平转动的圆板，连接柱的上端具有连通空腔的通孔，调节杆的下端可活动的插入通孔后固定连接圆板，通孔的直径小于圆板的直径，安装槽的上端设有固定粱，固定粱的两端分别固定在挡板部分上，固定粱的中部设有螺纹孔，调节杆上具有与螺纹孔相配合的外螺纹，调节杆的上端具有调节把手。

4.如权利要求1所述的刻蚀槽，其特征在于，所述辊筒的中部内陷形成环形槽，环形槽上套有环状透明管，环状透明管内具有环形空腔，环形空腔内具有液体和水准气泡，环状透明管的中部设有由两个刻度圈构成的水准区。

5.如权利要求4所述的刻蚀槽，其特征在于，所述环状透明管由耐腐蚀玻璃制成。

6.如权利要求4所述的刻蚀槽，其特征在于，所述环形槽两侧的辊筒上设有若干均匀间隔设置的环形开槽。

7.如权利要求1所述的刻蚀槽，其特征在于，所述送料单元的一个支撑板上可转动的安装有导向齿轮，导向齿轮与链条相匹配，其中一个导向齿轮连接有第一锥形齿轮，驱动机构包括有电机和由电机驱动转动的齿轮轴，齿轮轴上安装有第二锥形齿轮，第二锥形齿轮与第一锥形齿轮齿合，齿轮轴垂直于辊筒。

8.如权利要求7所述的刻蚀槽，其特征在于，所述齿轮、第二锥形齿轮、第一锥形齿轮均有耐腐蚀材料制成，所述链条为耐腐蚀链条。