[实用新型]膜厚自动控制镀膜机

权利要求书

1.一种膜厚自动控制镀膜机，其特征在于，所述镀膜机包括壳体、工作架、驱动机构、溅射镀膜机构，以及至少一个膜厚监测机构，所述工作架设有基片载体，所述工作架通过驱动机构驱动相对壳体旋转，所述工作架绕第一转轴转动；所述溅射镀膜机构和基片载体设于壳体内部，所述膜厚监测机构设有膜厚控制仪、膜厚传感器和振荡器，所述膜厚控制仪设于镀膜机的电气控制柜，所述膜厚传感器安装于基片载体上，所述振荡器安装于工作架上。

2.根据权利要求1所述的膜厚自动控制镀膜机，其特征在于，所述第一转轴上端伸出壳体，且安装于壳体上，所述第一转轴伸出壳体的顶端设有导电滑环。

3.根据权利要求2所述的膜厚自动控制镀膜机，其特征在于，所述第一转轴上端设有空腔，所述振荡器固定安装于空腔内。

4.根据权利要求3所述的膜厚自动控制镀膜机，其特征在于，所述第一转轴上端与壳体之间设有磁流体动密封。

5.根据权利要求2所述的膜厚自动控制镀膜机，其特征在于，所述第一转轴下端通过第一轴承座安装于壳体内。

6.根据权利要求5所述的膜厚自动控制镀膜机，其特征在于，所述驱动机构包括驱动件和传动齿轮组，所述传动齿轮组包括相啮合的第一齿轮和第二齿轮，所述第二齿轮与驱动件连接，所述第一齿轮固定设于工作架底端。

7.根据权利要求6所述的膜厚自动控制镀膜机，其特征在于，所述基片载体为载板。

8.根据权利要求7所述的膜厚自动控制镀膜机，其特征在于，所述膜厚监测机构设有1个，所述膜厚传感器设于载板上。

9.根据权利要求6所述的膜厚自动控制镀膜机，其特征在于，所述基片载体包括至少两个转架，所述转架通过第二转轴安装于工作架上，所述转架以第二转轴为中心轴相对工作架转动。

10.根据权利要求9所述的膜厚自动控制镀膜机，其特征在于，所述转架通过驱动机构驱动转动。