[实用新型]膜厚自动控制镀膜机

说明书

本实用新型公开了一种膜厚自动控制镀膜机，所述镀膜机包括壳体、工作架、驱动机构、溅射镀膜机构，以及至少一个膜厚监测机构，所述工作架设有基片载体，所述工作架通过驱动机构驱动相对壳体旋转，所述工作架绕第一转轴转动；所述溅射镀膜机构和基片载体设于壳体内部，所述膜厚监测机构设有膜厚控制仪、膜厚传感器和振荡器，所述膜厚控制仪设于镀膜机的电气控制柜，所述膜厚传感器安装于基片载体上，所述振荡器安装于工作架上。本实用新型提供膜厚自动控制镀膜机，结构简洁、布设规律，膜厚检测精度高。

技术领域

本实用新型涉及光学镀膜技术领域，具体涉及膜厚自动控制镀膜机。

背景技术

光学镀膜技术广泛应用于各行各业中，从精密光学设备、显示器设备到日常生活中的光学薄膜应用，比方说，平时戴的眼镜、数码相机、各式家电用品，或者是钞票上的防伪技术，皆能被称之为光学薄膜技术应用或者其技术上的延伸。倘若没有光学薄膜技术作为发展基础，近代光电、通讯或是激光技术将无法进展，这显示出光学薄膜技术研究发展重要性。

一般来说，要使用多层薄膜时，必须根据设计者需求，借用高低折射率薄膜堆栈技术，做为各类型光学薄膜设计之用，才能达到事先预期后评估的光学特性。比方说：抗反射镜、高反射镜、分光镜、截止滤光镜、带通滤光镜、带止滤光镜等；而在计算机分析软、硬件发展健全的今日，不仅使光学薄膜在设计上变得更为便捷，且光学薄膜技术研究发展也将更为快速。而要得到预期的薄膜效果，就要对薄膜的厚度进行控制、检测，目前主流的检测方法有两种：光学监控(目视法、反射式、透过式)和物理监控(石英晶体监控)，其中，目前的光学监控方法主要采用反射式光控控制的镀膜机，利用在光学玻璃材料上镀上一层介质薄膜的过程中，介质薄膜与光学玻璃之间的光学特征(反射率和透过率)都会发生变化，通过这种变化，从理论上任意膜厚都可以找到光学特征与之对应。把光学特征的光的变化变为光信号的变化。在使用时需要向镀膜机内输入用于检测并反馈控制镀膜厚度是否精确的参数，以此来保证镀膜机镀膜厚度的准确性。

光学镀膜机镀膜过程多采用石英晶体膜厚仪(简称膜厚仪)监测膜厚变化，膜厚仪的石英晶体探头(简称探头)一般安装在炉顶中央的固定位置上，通过传输导线把膜厚信号送至到炉外的膜厚仪主机上。

这种最传统的把探头固定在炉上方的方法，安装、传输和使用都最为简便，但只适用于从下向上蒸发膜镀的炉型，且以该炉炉顶中心点的膜厚值代表整炉各点的膜厚值，误差较大。

后来出现了立式镀膜机，采用立式溅射靶进行溅射沉积，探头则改成伸入炉内靠近工件处，侧装在一个固定位置，进行膜厚监测，以此不动点的膜厚信息代表整炉运动着工件的膜厚，这种方式同样存在误差大的问题。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题就在于：针对现有技术存在的技术问题，本实用新型提供膜厚自动控制镀膜机，结构简洁、布设规律，膜厚检测精度高。

为解决上述技术问题，本实用新型提出的技术方案为：

一种膜厚自动控制镀膜机，所述镀膜机包括壳体、工作架、驱动机构、溅射镀膜机构，以及至少一个膜厚监测机构，所述工作架设有基片载体，所述工作架通过驱动机构驱动相对壳体旋转，所述工作架绕第一转轴转动；所述溅射镀膜机构和基片载体设于壳体内部，所述膜厚监测机构设有膜厚控制仪、膜厚传感器和振荡器，所述膜厚控制仪设于镀膜机的电气控制柜，所述膜厚传感器安装于基片载体上，所述振荡器安装于工作架上。

作为上述技术方案的进一步改进为：

上述方案中，优选地，所述第一转轴上端伸出壳体，且安装于壳体上，所述第一转轴伸出壳体的顶端设有导电滑环。

上述方案中，优选地，所述第一转轴上端设有空腔，所述振荡器固定安装于空腔内。

上述方案中，优选地，所述第一转轴上端与壳体之间设有磁流体动密封。