[实用新型]一种带有自清洁功能的蓝宝石单晶炉观察窗有效

专利信息
申请号: 201922490606.9 申请日: 2019-12-31
公开(公告)号: CN211872145U 公开(公告)日: 2020-11-06
发明(设计)人: 陈宏;郝贵荣;张国威;李国东;杜晶;要晋颖;李庆 申请(专利权)人: 山西中聚晶科半导体有限公司
主分类号: C30B29/20 分类号: C30B29/20;C30B15/20
代理公司: 晋中市思锐知识产权代理事务所(普通合伙) 14122 代理人: 赵科
地址: 030600 山西省晋中市山*** 国省代码: 山西;14
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摘要:
搜索关键词: 一种 带有 清洁 功能 蓝宝石 单晶炉 观察窗
【权利要求书】:

1.一种带有自清洁功能的蓝宝石单晶炉观察窗,包括基座(1),其特征在于:所述基座(1)的上表面通过螺栓连接有反应炉(2),所述反应炉(2)的表面转动连接有炉门(3),所述炉门(3)的表面焊接有拉手(8),所述炉门(3)的内部卡接有密封条(4),所述反应炉(2)的表面卡接有玻璃窗(10),所述玻璃窗(10)的内壁设置有清理机构(6),所述反应炉(2)的表面开设有T型槽(9),所述T型槽(9)的内壁上滑动连接有滑动柄(5),所述滑动柄(5)的表面设置有外吸机构(7)。

2.根据权利要求1所述的一种带有自清洁功能的蓝宝石单晶炉观察窗,其特征在于:所述反应炉(2)的内壁上焊接有定位板(12),所述定位板(12)的左端焊接有弧形弹簧(13),所述定位板(12)的内部焊接有圆形环(11),所述弧形弹簧(13)的内壁套接在圆形环(11)的表面,所述玻璃窗(10)的内部开设有定位槽(14)。

3.根据权利要求2所述的一种带有自清洁功能的蓝宝石单晶炉观察窗,其特征在于:所述清理机构(6)包括有清理板(61),所述清理板(61)的表面焊接有若干个清理刷(64),所述清理板(61)的后部卡接有磁吸内板(63),所述清理板(61)的左部通过螺栓连接有两个滚轮(62)。

4.根据权利要求3所述的一种带有自清洁功能的蓝宝石单晶炉观察窗,其特征在于:所述清理板(61)的内部滑动连接在圆形环(11)的表面,所述弧形弹簧(13)的一端焊接在清理板(61)的后部,所述清理板(61)的表面滑动连接在定位槽(14)的内壁。

5.根据权利要求1所述的一种带有自清洁功能的蓝宝石单晶炉观察窗,其特征在于:所述外吸机构(7)包括有外清理板(71),所述外清理板(71)的内部滑动连接有定位柱(72),所述定位柱(72)的右端焊接在滑动柄(5)的内壁面,所述滑动柄(5)的内部卡接有磁铁(75),所述滑动柄(5)的表面焊接有限位块(74),所述限位块(74)的表面滑动连接在T型槽(9)的内壁上,所述定位柱(72)的表面套接有松紧弹簧(73)。

6.根据权利要求5所述的一种带有自清洁功能的蓝宝石单晶炉观察窗,其特征在于:所述磁铁(75)的表面距离玻璃窗(10)的间隙有2mm,所述外清理板(71)的表面与玻璃窗(10)的表面相互接触。

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