[实用新型]一种带有自清洁功能的蓝宝石单晶炉观察窗有效
申请号: | 201922490606.9 | 申请日: | 2019-12-31 |
公开(公告)号: | CN211872145U | 公开(公告)日: | 2020-11-06 |
发明(设计)人: | 陈宏;郝贵荣;张国威;李国东;杜晶;要晋颖;李庆 | 申请(专利权)人: | 山西中聚晶科半导体有限公司 |
主分类号: | C30B29/20 | 分类号: | C30B29/20;C30B15/20 |
代理公司: | 晋中市思锐知识产权代理事务所(普通合伙) 14122 | 代理人: | 赵科 |
地址: | 030600 山西省晋中市山*** | 国省代码: | 山西;14 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 带有 清洁 功能 蓝宝石 单晶炉 观察窗 | ||
本实用新型涉及单晶炉技术领域,具体为一种带有自清洁功能的蓝宝石单晶炉观察窗,包括基座,所述基座的上表面通过螺栓连接有反应炉,所述反应炉的表面转动连接有炉门,所述炉门的表面焊接有拉手,所述炉门的内部卡接有密封条,所述反应炉的表面卡接有玻璃窗,所述玻璃窗的内壁设置有清理机构,所述反应炉的表面开设有T型槽,所述滑动柄的表面设置有外吸机构。该带有自清洁功能的蓝宝石单晶炉观察窗,通过滑动柄在玻璃窗的表面滑动,而磁铁将会吸引玻璃窗内部的磁吸内板,从外面移动滑动柄将会控制内部的清理板进行磁吸移动,之后将玻璃窗上的附着物清理干净了,从而很好的对观察窗的内壁进行清理的效果,来更好的对反应炉进行观察。
技术领域
本实用新型涉及单晶炉技术领域,具体为一种带有自清洁功能的蓝宝石单晶炉观察窗。
背景技术
单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。
而在一些单晶炉在工作时,铝中的杂质在结晶过程中挥发出来并在热辐射照射下附着在观察窗镜片内表面,无法很好的清理,导致外部的工作人员无法清晰的看清楚炉内的反应,十分影响观察。
发明内容
本实用新型的目的在于提供一种带有自清洁功能的蓝宝石单晶炉观察窗,以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:
一种带有自清洁功能的蓝宝石单晶炉观察窗,包括基座,所述基座的上表面通过螺栓连接有反应炉,所述反应炉的表面转动连接有炉门,所述炉门的表面焊接有拉手,所述炉门的内部卡接有密封条,所述反应炉的表面卡接有玻璃窗,所述玻璃窗的内壁设置有清理机构,所述反应炉的表面开设有T型槽,所述T型槽的内壁上滑动连接有滑动柄,所述滑动柄的表面设置有外吸机构。
优选的,所述反应炉的内壁上焊接有定位板,所述定位板的左端焊接有弧形弹簧,所述定位板的内部焊接有圆形环,所述弧形弹簧的内壁套接在圆形环的表面,所述玻璃窗的内部开设有定位槽。
优选的,所述清理机构包括有清理板,所述清理板的表面焊接有若干个清理刷,所述清理板的后部卡接有磁吸内板,所述清理板的左部通过螺栓连接有两个滚轮。
优选的,所述清理板的内部滑动连接在圆形环的表面,所述弧形弹簧的一端焊接在清理板的后部,所述清理板的表面滑动连接在定位槽的内壁。
优选的,所述外吸机构包括有外清理板,所述外清理板的内部滑动连接有定位柱,所述定位柱的右端焊接在滑动柄的内壁面,所述滑动柄的内部卡接有磁铁,所述滑动柄的表面焊接有限位块,所述限位块的表面滑动连接在T型槽的内壁上,所述定位柱的表面套接有松紧弹簧。
优选的,所述磁铁的表面距离玻璃窗的间隙有2mm,所述外清理板的表面与玻璃窗的表面相互接触。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:
1.该带有自清洁功能的蓝宝石单晶炉观察窗,通过工作人员将对滑动柄在玻璃窗的表面滑动,而磁铁将会吸引玻璃窗内部的磁吸内板,从外面移动滑动柄将会控制内部的清理板进行磁吸移动,之后将玻璃窗上的附着物清理干净了,而圆形环将会很好的限制清理板移动的范围,而滚轮在定位槽的内壁上滚动,来实现很好的减少摩擦效果,使滚动过程中更加的平滑,从而很好的对观察窗的内壁进行清理的效果,来更好的对反应炉进行观察。
2.该带有自清洁功能的蓝宝石单晶炉观察窗,同时滑动柄移动的过程中,两个松紧弹簧推动外清理板紧贴在玻璃窗的表面,也会对外表面进行清理的效果,保证玻璃窗内外表面的干净,进一步提高了观察窗的内外干净程度。
附图说明
图1为本实用新型的整体结构示意图;
图2为本实用新型中玻璃窗内部示意图;
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