[实用新型]碱性蚀刻废液提铜系统中氨气处理装置

权利要求书

1.一种碱性蚀刻废液提铜系统中氨气处理装置，应用于碱性蚀刻废液提铜系统，其特征在于，所述碱性蚀刻废液提铜系统包括电解装置和氨气处理装置，所述氨气处理装置包括：

溶解桶，用于容置水，所述溶解桶的进口连通于所述电解装置的出口；和

废气吸收塔，用于容置酸溶液，所述废气吸收塔的进口连通于所述溶解桶的出口。

2.如权利要求1所述的碱性蚀刻废液提铜系统中氨气处理装置，其特征在于，所述氨气处理装置还包括射流装置，所述射流装置设于所述溶解桶与所述电解装置之间，所述射流装置的进口连通于所述电解装置的出口，所述射流装置的出口连通于所述溶解桶的进口。

3.如权利要求2所述的碱性蚀刻废液提铜系统中氨气处理装置，其特征在于，所述射流装置包括：

射流泵，所述射流泵的进口连通于所述电解装置的出口；和

射流器，所述射流器设有液体进口、液体出口及气体进口，所述液体进口和所述液体出口相对设置，并均连通于所述溶解桶，所述气体进口连通于所述射流泵的出口。

4.如权利要求1所述的碱性蚀刻废液提铜系统中氨气处理装置，其特征在于，所述溶解桶内设置有冷却机构，用于控制所述溶解桶内水的温度。

5.如权利要求4所述的碱性蚀刻废液提铜系统中氨气处理装置，其特征在于，所述冷却机构为冷却盘管，所述冷却盘管设于所述溶解桶的底部。

6.如权利要求1所述的碱性蚀刻废液提铜系统中氨气处理装置，其特征在于，所述溶解桶设置有多个，多个所述溶解桶依次相连通，且多个所述溶解桶中最前面的溶解桶连通于所述电解装置，最后面的溶解桶连通于所述废气吸收塔。

7.如权利要求1所述的碱性蚀刻废液提铜系统中氨气处理装置，其特征在于，所述溶解桶设置有两个，两个所述溶解桶相连通，其中一所述溶解桶与所述电解装置连通，另一所述溶解桶与所述废气吸收塔连通。

8.如权利要求1至7中任一项所述的碱性蚀刻废液提铜系统中氨气处理装置，其特征在于，所述氨气处理装置还包括电性连接的第一浓度检测仪和控制器，所述第一浓度检测仪设于所述废气吸收塔内，并邻近所述废气吸收塔的出口设置；

所述废气吸收塔的出口连通有排放管，所述排放管设置有第一控制阀，所述第一控制阀电性连接于所述控制器。

9.如权利要求8所述的碱性蚀刻废液提铜系统中氨气处理装置，其特征在于，所述氨气处理装置还包括氨水洗收集桶，所述氨水洗收集桶的进口连通于所述溶解桶的出口，所述氨水洗收集桶的出口用于连通蚀刻工序中的氨水洗槽。

10.如权利要求9所述的碱性蚀刻废液提铜系统中氨气处理装置，其特征在于，所述氨气处理装置还包括第二浓度检测仪，所述第二浓度检测仪电性连接于所述控制器，并设于所述溶解桶内；

所述溶解桶与所述氨水洗收集桶连通的管道上设置有第二控制阀，所述第二控制阀电性连接于所述控制器。