[实用新型]旋转夹具及真空镀膜设备

权利要求书

1.一种旋转夹具，用于真空镀膜设备，其特征在于，包括夹具盘、固定螺丝、悬挂活动球以及支撑座；

其中，所述夹具盘的中心开设有一贯穿的吊挂通孔，所述支撑座为中空设计；所述支撑座嵌入夹具中心的吊挂通孔内，固定所述夹具盘；

所述悬挂活动球开设有一中心通孔；所述固定螺丝穿过将该中心通孔将悬挂活动球固定在主轴的底部；

所述支撑座顶部的内径小于所述悬挂活动球的外径，支撑座顶部以活动形式卡扣在活动球上，使得所述夹具盘以活动形式吊挂在主轴底部上；

所述主轴转动时通过悬挂活动球与支撑座接触并传递动力，带动所述夹具盘旋转。

2.根据权利要求1所述的旋转夹具，其特征在于，所述支撑座为T型设计，通过顶部扣住夹具盘中心的吊挂通孔，与夹具盘固定连接。

3.根据权利要求2所述的旋转夹具，其特征在于，还包括T型设计的防脱座，所述防脱座套在所述固定螺丝的螺帽与悬挂活动球之间，用于防止夹具盘脱落。

4.根据权利要求3所述的旋转夹具，其特征在于，所述防脱座的顶部外径大于所述吊挂通孔的直径；所述支撑座的内径小于所述防脱座中杆部分的外径，所述支撑座与防脱座相互之间预留有活动空间。

5.根据权利要求4所述的旋转夹具，其特征在于，所述支撑座是塑料支撑座。

6.根据权利要求1至5任一项所述的旋转夹具，其特征在于，在真空镀膜设备的蒸发源与夹具盘之间还设置有修正挡板，通过修正挡板对材料的阻挡控制材料沉积的厚薄。

7.根据权利要求6所述的旋转夹具，其特征在于，还包括旋转选择装置，所述旋转选择装置用于放置有多个具有不同外观轮廓的修正挡板；

所述旋转选择装置将选定的目标修正挡板放置在夹具盘前。

8.一种真空镀膜设备，其特征在于，包括：如权利要求1至7任一项所述的旋转夹具。

9.根据权利要求8所述的真空镀膜设备，其特征在于，还包括：蒸发源、电机、主轴以及真空腔室；

所述蒸发源用于蒸发材料；

所述电机用于提供旋转动力给主轴；

所述主轴用于吊挂旋转夹具并传递旋转动力；

所述真空腔室用于提供真空环境。

10.根据权利要求9所述的真空镀膜设备，其特征在于，所述夹具盘用于放置基片。