[实用新型]旋转夹具及真空镀膜设备

说明书

本申请涉及一种旋转夹具，用于真空镀膜设备，包括夹具盘、固定螺丝、悬挂活动球以及支撑座；其中，所述夹具盘的中心开设有一贯穿的吊挂通孔，所述支撑座为中空设计；所述支撑座嵌入夹具中心的吊挂通孔内，固定所述夹具盘；所述悬挂活动球开设有一中心通孔；所述固定螺丝穿过将该中心通孔将悬挂活动球固定在主轴的底部；所述支撑座顶部的内径小于所述悬挂活动球的外径，支撑座顶部以活动形式卡扣在活动球上，使得所述夹具盘以活动形式吊挂在主轴底部上；所述主轴转动时通过悬挂活动球与支撑座接触并传递动力，带动所述夹具盘旋转。本申请还提供一种真空镀膜设备，在真空镀膜中，夹具盘可以达到更好的动平衡效果，从而大幅度提升了镀膜效果。

技术领域

本申请涉及真空镀膜技术领域，尤其是一种旋转夹具及真空镀膜设备。

背景技术

真空镀膜是指在高真空的条件下加热金属或非金属材料，使其蒸发并凝结于镀件(金属、半导体或绝缘体)表面而形成薄膜的一种方法；参考图1所示，利用安装真空镀膜设备上的旋转夹具，蒸发源的蒸发材料颗粒沉积到夹具盘上，夹具盘的基片在沉积过程中，通过电机带动主轴来旋转夹具盘，保证材料的均匀沉积，从而实现镀膜过程。

目前，针对真空镀膜在高端领域运用(特别的光通信领域)对均匀性、稳定性要求苛刻。比如：机械结构尽量简单，旋转速度要求在2000转/分钟以上，高速旋转并且平稳，高度动平衡等；由于真空镀膜过程非常复杂，因此往往容易出现镀膜不均匀的情况。

传统的旋转夹具，主要是将夹具盘硬连接到主轴上，通过电机带动高速旋转，由于主轴要经过真空腔室密封安装，在其安装部位以及夹具盘连接部位容易产生偏差，参考图2所示，在高速旋转时夹具盘产生了细微的偏差也导致了极大抖动，形成了上下震荡，动平衡失调，影响了真空镀膜设备的镀膜效果。

实用新型内容

本申请的目的旨在解决上述的技术缺陷之一，特别是在高速旋转时夹具盘动平衡失调、影响真空镀膜设备的镀膜效果的问题。

为了实现上述目的，本申请提供以下技术方案：

一种旋转夹具，用于真空镀膜设备，包括夹具盘、固定螺丝、悬挂活动球以及支撑座；

其中，所述夹具盘的中心开设有一贯穿的吊挂通孔，所述支撑座为中空设计；所述支撑座嵌入夹具中心的吊挂通孔内，固定所述夹具盘；

所述悬挂活动球开设有一中心通孔；所述固定螺丝穿过将该中心通孔将悬挂活动球固定在主轴的底部；

所述支撑座顶部的内径小于所述悬挂活动球的外径，支撑座顶部以活动形式卡扣在活动球上，使得所述夹具盘以活动形式吊挂在主轴底部上；

所述主轴转动时通过悬挂活动球与支撑座接触并传递动力，带动所述夹具盘旋转。

在一个实施例中，所述支撑座为T型设计，通过顶部扣住夹具盘中心的吊挂通孔，与夹具盘固定连接。

在一个实施例中，所述的旋转夹具还包括T型设计的防脱座，所述防脱座套在所述固定螺丝的螺帽与悬挂活动球之间，用于防止夹具盘脱落。

在一个实施例中，所述防脱座的顶部外径大于所述吊挂通孔的直径；所述支撑座的内径小于所述防脱座中杆部分的外径，所述支撑座与防脱座相互之间预留有活动空间。

在一个实施例中，所述支撑座是塑料支撑座。

在一个实施例中，在真空镀膜设备的蒸发源与夹具盘之间还设置有修正挡板，通过修正挡板对材料的阻挡控制材料沉积的厚薄。

在一个实施例中，所述的旋转夹具还包括旋转选择装置，所述旋转选择装置用于放置有多个具有不同外观轮廓的修正挡板；

所述旋转选择装置将选定的目标修正挡板放置在夹具盘前。