[发明专利]具有静电放电保护的光掩模

权利要求书

1.一种光掩模，包括：

衬底；

所述衬底上的电路图案；

所述衬底上的静电放电(ESD)结构，并且所述ESD结构围绕所述电路图案；以及

所述衬底上的ESD线，并且所述ESD线在所述衬底的边缘和所述ESD结构之间延伸，其中，所述ESD线包括延伸超出所述ESD结构的边缘的末端的边缘部分，并且其中，所述边缘部分包括多个区段以及多个梳状结构，每一梳状结构包括连接部分和至少两个针状物，并且每一区段和每一连接部分交替连接以形成蛇形区段。

2.根据权利要求1所述的光掩模，其中，所述蛇形区段具有多个凹陷，并且所述梳状结构中的一个梳状结构的针状物指向所述凹陷中的一个凹陷。

3.根据权利要求1所述的光掩模，其中，每一梳状结构的宽度大于每一针状物的长度。

4.根据权利要求1所述的光掩模，其中，所述梳状结构中的相邻两个梳状结构中的针状物朝着相反方向突出。

5.根据权利要求1所述的光掩模，其中，所述梳状结构中的相邻两个梳状结构中的针状物朝着所述衬底的所述边缘突出。

6.根据权利要求1所述的光掩模，其中，所述ESD线进一步包括主要部分和另一边缘部分，并且所述主要部分和所述另一边缘部分分别包括多个梳状结构。

7.根据权利要求1所述的光掩模，其中，所述ESD线进一步包括主要部分和另一边缘部分，所述主要部分连接在所述边缘部分和所述另一边缘部分之间，并且所述另一边缘部分被设置为超出所述ESD结构的所述边缘的另一末端。

8.根据权利要求7所述的光掩模，其中，所述主要部分包括多个区段以及多个梳状结构，并且所述主要部分的每一区段和每一梳状结构交替连接以形成蛇形区段。

9.根据权利要求8所述的光掩模，其中，所述蛇形区段具有多个凹陷，并且所述主要部分的每一梳状结构包括连接部分以及从所述连接部分朝着所述凹陷之一突出的至少两个针状物。

10.根据权利要求9所述的光掩模，其中，所述主要部分的所述梳状结构中的相邻两个梳状结构中的针状物朝着所述衬底的所述边缘突出。

11.根据权利要求1所述的光掩模，进一步包括设置在所述ESD结构的与所述边缘相对的一侧上的另一ESD线。

12.根据权利要求11所述的光掩模，进一步包括位于所述ESD结构的两侧上的另外两ESD线，并且所述ESD线围绕所述ESD结构。

13.根据权利要求1所述的光掩模，其中，所述ESD线在所述ESD结构的所述边缘的延伸方向上的长度大于所述ESD结构在所述ESD结构的所述边缘的延伸方向上的长度。

14.根据权利要求1所述的光掩模，其中，所述ESD线的延伸方向与所述ESD结构的所述边缘的延伸方向平行。

15.根据权利要求1所述的光掩模，其中，所述ESD结构包括多个梳状结构。