[发明专利]干膜光阻剥离液组合物

权利要求书

1.一种干膜光阻剥离液组合物，其特征在于，包含由四甲基氢氧化铵(Tetramethylammonium hydroxide,TMAH)、五氟合氙酸四甲基铵(Tetramethylammoniumpentafluoroxenate,TMAPF)及由此混合物构成的群中选择的四级铵盐水溶液10～30重量％、烷醇胺系化合物30～60重量％、极性含质子的有机溶剂10～30重量％及包含硫的唑类化合物0.1～5重量％的组合物。

2.根据权利要求1所述的干膜光阻剥离液组合物，其特征在于，

上述烷醇胺系化合物是由一异丙醇胺(Monoisopropanolamine,MIPA)、2-氨基-2-甲基-1-丙醇胺(2-Amino-2-methyl-1-propanolamine,AMPA)、2-氨基乙氧基乙醇胺(2-Aminoethoxyethanolamine,AEEA)、三乙醇胺(triethanolamine,TEA)、单乙醇胺(Monoethanolamine,MEA)及二乙醇胺(Diethanolamine,DEA)构成的群中选择一个以上。

3.根据权利要求1所述的干膜光阻剥离液组合物，其特征在于，

上述极性含质子的有机溶剂由乙二醇(Etylene glycol,EG)、丙二醇(Propyleneglycol,PG)、二乙二醇单乙醚(Diethylene glycol monoethyl ether,EDG)、二乙二醇丁醚(Diethylene glycol monobutyl ether,BDG)、二乙二醇甲醚(Diethylene glycolmonomethyl ether,MDG)、乙二醇单乙醚(Ethylene glycol mono ethyl ether,EEG)、丙二醇丁醚(propylene glycol monobutyl ether,PGMBE)、三丙二醇甲醚(tripropyleneglycol monoethyl ether,TPGMEE)及三乙二醇单丁醚(Triethylene glycol monobutylether,TEGMBE)构成的群中选择一个以上。

4.根据权利要求1所述的干膜光阻剥离液组合物，其特征在于，

包含上述硫的唑类化合物由巯基苯并咪唑(Mercaptobenzimidazole,MBI)巯基苯并噻唑(Mercaptobenzothiadiazole,MBT)、巯基苯并咪唑(Mercaptobenzimidazole)、巯基苯并恶唑(Mercaptobenzoxazole,MBO)、巯基甲基咪唑(Mercaptomethylimidazole,MMI)、4-甲基咪唑(4-Methylimidazole,4-MI)及2,5-二巯基-1,3,4-噻二唑(2,5-Dimercapto-1,3,4-thiadiazole)构成的群中选择一个以上。

5.根据权利要求1所述的干膜光阻剥离液组合物，其特征在于，将上述组合物与超纯水以1:2至1:50的重量比混合稀释。