[发明专利]掩模装置、掩模板及框架

权利要求书

1.一种掩模装置，包括：

框架，包括内边缘、外边缘和多个安装槽；

第一掩模板，包括基板、设置在所述基板上的至少一个第一掩模开口和从所述基板的至少部分周边向外凸出延伸的多个夹持部，其中，

所述多个夹持部被配置为一一对应地安装在所述多个安装槽中，从而所述基板被配置为安装在所述框架的内边缘上；

所述夹持部沿从所述基板到远离所述基板延伸的方向为第一方向，垂直于所述第一方向的方向为第二方向；所述多个夹持部中的至少一个所述夹持部包括与所述基板连接的第一部分，沿所述第一方向，所述第一部分的至少部分的在所述第二方向上的尺寸逐渐减小；所述第一部分的侧边具有与所述基板平滑连接且向内凹陷的弧形部；

所述第一部分的至少部分能够伸进与该夹持部对应的安装槽内，使得所述基板与所述框架的内边缘在所述基板的平行于所述第一方向的面所在的平面上的正投影之间的间隙小于所述至少一个所述夹持部的所述第一部分在第一方向上的尺寸，且所述弧形部完全位于所述安装槽内且与所述安装槽的侧壁不接触。

2.根据权利要求1所述的掩模装置，其中，所述第一掩模板与所述内边缘在所述第一掩模板所在的平面上的投影基本相接。

3.根据权利要求1或2所述的掩模装置，其中，所述多个夹持部中的至少一个夹持部还包括位于所述第一部分的远离所述基板的一侧且沿远离所述基板方向凸出延伸的第二部分，

所述基板的周边包括侧面，所述基板的所述侧面上设置有所述多个夹持部且所述侧面面向所述框架的内边缘；所述弧形部在所述基板的所述侧面所在的平面上的正投影位于所述至少一个夹持部整体在所述基板的所述侧面所在的平面上的正投影内。

4.根据权利要求3所述掩模装置，其中，所有所述多个夹持部的形状和尺寸相同，所有所述弧形部的形状和尺寸相同；

所述弧形部的在所述第一方向上的尺寸和所述夹持部的在所述第一方向上的最大尺寸的比为0.15～0.2。

5.根据权利要求3所述的掩模装置，其中，在所述基板所在的平面上，所述弧形部与所述基板的所述侧面的连接点位于所述第二部分的远离所述基板的边缘在所述基板的侧面上的正投影内；所述弧形部与所述基板的所述侧面的连接点位于与该夹持部对应的安装槽在所述基板的所述侧面的正投影内。

6.根据权利要求5所述的掩模装置，其中，所述基板的侧面包括位于所述多个夹持部中相邻两个夹持部之间的平面，该平面在所述内边缘所在平面上的正投影与所述框架的内边缘重叠，所述弧形部与所述框架的内边缘不接触。

7.根据权利要求3所述的掩模装置，其中，沿所述第一方向，所述至少一个夹持部的第二部分在所述第二方向的宽度逐渐减增大；所述至少一个夹持部的所述第一部分整体在所述第二方向上的宽度逐渐减小，或者，所述至少一个夹持部的所述第一部分的在所述第二方向上的宽度先逐渐减小后逐渐增大。

8.根据权利要求7所述的掩模装置，其中，所述至少一个夹持部的第二部分在所述基板所在平面上的平面形状为倒梯形。

9.根据权利要求1所述的掩模装置，其中，所述多个安装槽中的至少一个安装槽包括：

主体部；

至少一个扩展部，与所述主体部相通，其中，所述主体部包括靠近所述内边缘的第一部分和远离所述内边缘的第二部分，所述主体部的第一部分与所述主体部的第二部分相通，所述扩展部位于所述主体部的第一部分的面向相邻的安装槽的侧面且沿远离所述主体部的方向延伸；所述扩展部包括外轮廓，所述外轮廓与所述内边缘相接。

10.根据权利要求9所述的掩模装置，其中，所述弧形部配置为整体位于与该夹持部对应的所述安装槽中，且所述弧形部的至少部分配置为被容纳于所述扩展部中。