[发明专利]掩模装置、掩模板及框架

说明书

一种掩模装置(10)、掩模板(1)和框架(2)。掩模装置包括框架和第一掩模板，框架包括内边缘(21)、外边缘(22)和多个安装槽(23)，第一掩模板包括基板(11)和从基板的周边向外凸出延伸的多个夹持部(13)，多个夹持部被配置为一一对应地安装在多个安装槽中，从而基板安装在框架的内边缘上。夹持部包括与基板连接的第一部分(131)，第一部分具有弧形部(1310)，弧形部在基板的侧面(110)上的正投影位于夹持部整体在基板的侧面上的正投影内。

技术领域

本公开至少一实施例涉及一种掩模装置、掩模板和框架。

背景技术

蒸镀方法是薄膜沉积常用的方法之一，在薄膜蒸镀过程中，通常会使用掩模装置。有机发光二极管显示面板由于具有自主发光、功耗低、显示亮度高、宽视角、响应速度快等一系列的优点，越来越受到市场的欢迎。例如，有机发光二极管显示面板中的有机发光层，通常可以通过蒸镀的方法形成。随着市场的需求，有机发光二极管显示面板的应用已经从手机、电脑等扩展到可穿戴领域，而随之而来的便是对有机发光二极管显示面板的形状要求的多样化，显示面板形状从普通的矩形逐渐变成圆形或多边形等其它不规则的形状。显示面板形状的多样性对制造显示面板所使用的蒸镀掩模板提出了较高的要求。

发明内容

本公开至少一实施例提供一种掩模装置，该掩模装置包括：框架和第一掩模板。框架包括内边缘、外边缘和多个安装槽；第一掩模板包括基板、设置在所述基板上的至少一个第一掩模开口和从所述基板的至少部分周边向外凸出延伸的多个夹持部；所述多个夹持部被配置为一一对应地安装在所述多个安装槽中，从而所述基板被配置为安装在所述框架的内边缘上；所述夹持部沿从所述基板到远离所述基板延伸的方向为第一方向，垂直于所述第一方向的方向为第二方向；所述多个夹持部中的至少一个所述夹持部包括与所述基板连接的第一部分，沿所述第一方向，所述第一部分的至少部分的在所述第二方向上的尺寸逐渐减小；所述第一部分的至少部分能够伸进与该夹持部对应的安装槽内，使得所述基板与所述框架的内边缘在所述基板的平行于所述第一方向的面所在的平面上的正投影之间的间隙小于所述至少一个所述夹持部的所述第一部分在第一方向上的尺寸。

例如，在本公开一实施例提供的掩模装置中，所述第一掩模板与所述内边缘在所述第一掩模板所在的平面上的投影基本相接。

例如，在本公开一实施例提供的掩模装置中，所述多个夹持部中的至少一个夹持部还包括位于所述第一部分的远离所述基板的一侧且沿远离所述基板方向凸出延伸的第二部分，所述第一部分包括侧边，所述第一部分的侧边朝向与该夹持部相邻的所述夹持部，所述第一部分的所述侧边具有与所述基板平滑连接且朝向所述夹持部凹陷的弧形部；所述基板的周边包括侧面，所述基板的所述侧面上设置有所述多个夹持部且所述侧面面向所述框架的内边缘；所述弧形部在所述基板的所述侧面所在的平面上的正投影位于所述至少一个夹持部整体在所述基板的所述侧面所在的平面上的正投影内。

例如，在本公开一实施例提供的掩模装置中，所有所述多个夹持部的形状和尺寸相同，所有所述弧形部的形状和尺寸相同；所述弧形部的在所述第一方向上的尺寸和所述夹持部的在所述第一方向上的最大尺寸的比为0.15～0.2。

例如，在本公开一实施例提供的掩模装置中，在所述基板所在的平面上，所述弧形部与所述基板的所述侧面的连接点位于所述第二部分的远离所述基板的边缘在所述基板的侧面上的正投影内；所述弧形部与所述基板的所述侧面的连接点位于与该夹持部对应的安装槽在所述基板的所述侧面的正投影内。

例如，在本公开一实施例提供的掩模装置中，所述基板的侧面包括位于所述多个夹持部中相邻两个之间的平面，所述平面在所述内边缘所在平面上的正投影与所述框架的内边缘重叠，所述弧形部与所述框架的内边缘不接触。

例如，在本公开一实施例提供的掩模装置中，沿所述第一方向，所述至少一个夹持部的第二部分在所述第二方向的宽度逐渐减增大；所述至少一个夹持部的所述第一部分整体在所述第二方向上的宽度逐渐减小，或者，所述至少一个夹持部的所述第一部分的在所述第二方向上的宽度先逐渐减小后逐渐增大。