[发明专利]检测设备和检测方法

权利要求书

1.一种检测设备，包括：

光产生器，产生光；

第一线性偏振器，将所述光线性偏振；

偏振干涉仪，将线性偏振的光分离为第一光和第二光，并且允许所述第一光和所述第二光具有空间相位差信息；

第二线性偏振器，接收穿过被测物或在被测物上反射的所述第一光和所述第二光，并且将所述第一光和所述第二光线性偏振以产生干涉图样，所述干涉图样具有包括所述被测物的各向异性信息的空间载频；以及

图像感测模块，从所述第二线性偏振器捕获所述干涉图样。

2.根据权利要求1所述的检测设备，其中，所述偏振干涉仪包括：

偏振分束器，将线性偏振的光分离为所述第一光和所述第二光，并且具有第一表面和第二表面，所述第一光入射在所述第一表面上，所述第二光入射在所述第二表面上，所述第一表面与所述第二表面彼此相邻；

第一镜，在所述第一表面上；以及

第二镜，在所述第二表面上。

3.根据权利要求2所述的检测设备，其中，所述第一镜与所述第二镜具有偏离垂直的角度。

4.根据权利要求3所述的检测设备，其中，所述偏离角度为0.02°至0.1°。

5.根据权利要求2所述的检测设备，所述检测设备还包括在所述第一线性偏振器与所述偏振分束器之间的第一非偏振分束器。

6.根据权利要求5所述的检测设备，所述检测设备还包括在所述第一非偏振分束器与所述被测物之间的第二非偏振分束器。

7.根据权利要求6所述的检测设备，其中，所述第二线性偏振器设置在所述第二非偏振分束器的一侧上。

8.根据权利要求1所述的检测设备，所述检测设备还包括准直透镜，所述准直透镜接收并准直来自所述光产生器的光。

9.根据权利要求1所述的检测设备，所述检测设备还包括在所述第二线性偏振器与所述图像感测模块之间的光接收透镜。

10.根据权利要求1所述的检测设备，其中，来自所述光产生器的所述光是单色光。

11.一种检测设备，包括：

光产生器，产生光；

第一线性偏振器，将所述光线性偏振；

分束器，将线性偏振的光分离为第一光和第二光，并且具有第一表面和第二表面，所述第一光入射在所述第一表面上，所述第二光入射在所述第二表面上，所述第一表面和所述第二表面彼此相邻；

第一镜和第二镜，分别在所述第一表面上和所述第二表面上；

第二线性偏振器，接收和线性偏振来自所述分束器的所述第一光和所述第二光；以及

图像感测模块，捕获来自所述第二线性偏振器的干涉图像，

其中，所述第一镜与所述第二境具有偏离垂直的角度。

12.根据权利要求11所述的检测设备，其中，所述偏离角度为0.02°至0.1°。

13.根据权利要求11所述的检测设备，其中，所述分束器是偏振分束器。

14.根据权利要求13所述的检测设备，所述检测设备还包括在所述第一线性偏振器与所述偏振分束器之间的非偏振分束器。

15.根据权利要求11所述的检测设备，其中，来自所述光产生器的所述光是单色光。