[发明专利]检测设备和检测方法

说明书

本发明构思涉及一种检测设备，所述检测设备快照捕获具有由一件式离轴偏振干涉仪产生的高的空间载频的干涉图样，并且精确且迅速地测量包括空间偏振信息的斯托克斯矢量。所述检测设备在不采用二维扫描仪的情况下动态实时测量二维偏振信息。

技术领域

本发明构思涉及一种检测设备和检测方法，更具体地，涉及一种测量被测物的图像的检测设备和检测方法。

背景技术

成像技术已被广泛用于调查和研究实时改变的物理现象，并且可用作各种诊断和检测工具。基于偏振的成像技术是适用于不同领域的高分辨率和高精度测量技术之一。

发明内容

技术问题

大部分偏振测量技术需要机械旋转偏振器机构或电子偏振调制装置。然而，采用机械机构或电子偏振调制的偏振测量技术具有硬件配置复杂和测量时间长的缺点。

解决问题的技术方案

本发明构思的一些示例实施例提供一种检测设备，其中单色光源用于通过区域成像单元快速测量图像。

根据本发明构思的一些示例实施例，一种检测设备可包括：光产生器，产生光；第一线性偏振器，将所述光线性偏振；偏振干涉仪，将线性偏振的光分离为第一光和第二光，并且允许所述第一光和所述第二光具有空间相位差信息；第二线性偏振器，接收穿过被测物或在被测物上反射的所述第一光和所述第二光，并且将所述第一光和所述第二光线性偏振以产生干涉图样，所述干涉图样具有包括所述被测物的各向异性信息的空间载频；以及图像感测模块，从所述第二线性偏振器捕获所述干涉图样。

所述第一线性偏振器和所述第二线性偏振器可具有45度的旋转角度。

在特定实施例中，所述偏振干涉仪可包括：偏振分束器，将线性偏振的光分离为所述第一光和所述第二光，并且具有第一表面和第二表面，所述第一光入射在所述第一表面上，所述第二光入射在所述第二表面上，所述第一表面与所述第二表面彼此相邻；第一镜，在所述第一表面上；以及第二镜，在所述第二表面上。

在特定实施例中，所述第一镜与所述第二镜可具有偏离垂直的角度。

在特定实施例中，所述偏离角度可以为0.02°至0.1°。

在特定实施例中，所述检测设备还可包括在所述第一线性偏振器与所述偏振分束器之间的第一非偏振分束器。

在特定实施例中，所述检测设备还可包括在所述第一非偏振分束器与所述被测物之间的第二非偏振分束器。

在特定实施例中，所述第二线性偏振器可设置在所述第二非偏振分束器的一侧上。

在特定实施例中，所述检测设备还可包括准直透镜，所述准直透镜接收并准直来自所述光产生器的光。

在特定实施例中，所述检测设备还可包括在所述第二线性偏振器与所述图像感测模块之间的光接收透镜。

在特定实施例中，来自所述光产生器的所述光可以是单色光。

根据本发明构思的一些示例实施例，一种检测设备可包括：光产生器，产生光；第一线性偏振器，将所述光线性偏振；分束器，将线性偏振的光分离为第一光和第二光，并且具有第一表面和第二表面，所述第一光入射在所述第一表面上，所述第二光入射在所述第二表面上，所述第一表面和所述第二表面彼此相邻；第一镜和第二镜，分别在所述第一表面上和所述第二表面上；第二线性偏振器，接收和线性偏振来自所述分束器的所述第一光和所述第二光；以及图像感测模块，捕获来自所述第二线性偏振器的干涉图像。所述第一镜与所述第二境可具有偏离垂直的角度。

在特定实施例中，所述偏离角度可以为0.02°到0.1°。

在特定实施例中，所述分束器可以是偏振分束器。