[发明专利]压力传感器和压力传感器的制造方法

权利要求书

1.一种压力传感器，其特征在于，

包括多个传感器器件和布线板，

所述多个传感器器件分别包括电极和与所述电极相对配置的导电膜，

所述多个传感器器件重叠在相对于所述电极配置有所述导电膜的方向上，

所述布线板包括向所述多个传感器器件输入电信号的共通的输入布线、以及从所述多个传感器器件输出电信号的共通的输出布线，

所述多个传感器器件中的至少一个传感器器件的与电阻相关的特性，与其余的所述多个传感器器件中的至少一个传感器器件的与电阻相关的特性彼此不同，

所述多个传感器器件中的至少一个传感器器件的能和所述导电膜接触的所述电极的面积、与其余的所述多个传感器器件中的至少一个传感器器件的能和所述导电膜接触的所述电极的面积彼此不同。

2.根据权利要求1所述的压力传感器，其特征在于，所述电极形成在所述布线板上。

3.根据权利要求1所述的压力传感器，其特征在于，所述传感器器件的至少一部分，具备与所述电极的至少一部分重叠的突起。

4.根据权利要求3所述的压力传感器，其特征在于，所述突起分别设置在所述多个传感器器件上。

5.根据权利要求4所述的压力传感器，其特征在于，多个所述突起中的至少一个突起的端面，大小与其余的所述突起中的至少一个突起的端面不同。

6.根据权利要求4所述的压力传感器，其特征在于，与所述多个传感器器件对应，设置有一个所述突起。

7.根据权利要求1至6中任意一项所述的压力传感器，其特征在于，所述多个传感器器件彼此并联。

8.根据权利要求1至6中任意一项所述的压力传感器，其特征在于，

所述电极包括第一电极和第二电极，

所述第一电极和所述第二电极彼此分开，且具有能相互嵌合的形状。

9.一种压力传感器的制造方法，其特征在于，包括：

在布线板上形成包含多个电极和与所述多个电极的至少一个电极对应的导电膜的传感器器件、向多个传感器器件输入电信号的共通的输入布线、以及从多个所述传感器器件输出电信号的共通的输出布线；通过折叠所述布线板而将所述传感器器件彼此重叠，

在所述布线板上形成多个所述传感器器件时，使所述多个传感器器件中的至少一个传感器器件的与电阻相关的特性，与其余的所述多个传感器器件中的至少一个传感器器件的与电阻相关的特性彼此不同，使所述多个传感器器件中的至少一个传感器器件的能和所述导电膜接触的所述电极的面积与其余的所述多个传感器器件中的至少一个传感器器件的能和所述导电膜接触的所述电极的面积彼此不同。