[发明专利]压力传感器和压力传感器的制造方法

说明书

本发明提供适合测量宽广范围的压力且具有较小的设置面积的压力传感器。所述压力传感器包括：多个传感器器件(U1)、(U2)，具有电极(19a、19b)和与所述电极(19a、19b)相对配置的导电膜(15)，且相对于电极(19a)、(19b)重叠在导电膜(15)的配置方向上；以及具有向所述多个传感器器件(U1)、(U2)输入电信号的通用的输入布线(21)和从多个传感器器件输出电信号的通用的输出布线(22)的布线板(10)。

技术领域

本发明涉及压力传感器和压力传感器的制造方法。

背景技术

在各种技术领域中，使用感知压力的压力传感器。压力传感器的几种用于移动终端和机器人等。对于这种用途的压力传感器，要求能够在比较狭窄的范围中设置亦即设置面积小。此外，要求压力传感器高精度地检测受到压力的位置。压力传感器的公知的例子，例如记载在专利文献1、专利文献2和专利文献3中。专利文献1记载的机械手的控制装置具有机器人的工件的握持部、以及用于检测与工件的接触压力的压力检测传感器。此外，专利文献2记载了包含并联连接的多个感应传感器的就座传感器。专利文献3记载了薄膜开关，其包括：设置在一对绝缘薄膜间且具有开口的接点部的垫片(spacer)；以及分别形成在所述开口的对置面上的电极。此外，在接点部的至少一方的绝缘薄膜的外表面设有突出部。

现有技术文献

专利文献1：日本专利公开公报特开平7-186078号

专利文献2：日本专利公开公报特开2003-65865号

专利文献3：日本专利公开公报特开2000-222982号

发明内容

可是，专利文献1中公开的压力传感器，在多个部位检测接触压力，判断在纵、横或者倾斜的直线上排列的多个接触压力的仅任意一个是否在规定的值以上。因此，专利文献1公开的压力传感器，需要在多个方向上配置的多个压力传感器。因此，压力传感器的设置面积变大。此外，按照专利文献2所记载的实施方式，多个压力传感器设置在汽车的副驾驶席。此外，由各个压力传感器检测的电阻值对整体的合计电阻施加的影响降低。由此，防止人就座的误检测。因此，专利文献2所记载的实施方式，也未试图解决压力传感器的设置面积的问题。此外，专利文献3所记载的实施方式，即使针对较小的值的负载，压力传感器的电阻值也会大幅变动。即，所述压力传感器能够以高灵敏度测量较小的压力，另一方面在较大压力的测量中没有效果。因此，该压力传感器具有测量的动态范围窄的缺点。本实施方式的压力传感器是鉴于上述的问题而开发出来的传感器。即，本发明涉及能够测量可测量的压力的范围(测量范围)宽广的压力且适合减小设置面积的压力传感器和该压力传感器的制造方法。

本实施方式的压力传感器，包括多个传感器器件和布线板，所述多个传感器器件分别包括电极和与所述电极相对配置的导电膜，所述多个传感器器件重叠在相对所述电极的、所述导电膜的配置方向上，所述布线板包括向所述多个传感器器件输入电信号的共通的输入布线，以及从所述多个传感器器件输出电信号的共通的输出布线。

此外，本实施方式的压力传感器的制造方法，包括：在布线板上形成：包含多个电极和与所述多个电极的至少一个电极对应的导电膜的传感器器件、向多个所述传感器器件输入电信号的共通的输入布线、以及从多个所述传感器器件输出电信号的共通的输出布线；通过折叠所述布线板而将所述传感器器件彼此重叠。

按照本发明，能够提供能够设想宽广范围(测量范围)的压力且适合减小设置面积的压力传感器及其制造方法。

附图说明

图1是用于说明本发明一个实施方式的压力传感器的截面示意图。

图2的(a)是图1所示的压力传感器的传感器器件的俯视示意图。图2的(b)是传感器器件的截面示意图。