[发明专利]对位标记、掩模板及显示基板母版有效

专利信息
申请号: 201980002708.1 申请日: 2019-11-29
公开(公告)号: CN113196167B 公开(公告)日: 2023-09-29
发明(设计)人: 肖丽;赵蛟;刘冬妮;玄明花;郑皓亮;陈亮;陈昊;张振宇;刘静;齐琪 申请(专利权)人: 京东方科技集团股份有限公司
主分类号: G03F1/42 分类号: G03F1/42;G03F9/00
代理公司: 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 代理人: 申健
地址: 100015 *** 国省代码: 北京;11
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 对位 标记 模板 显示 母版
【说明书】:

一种对位标记,包括:位于基板的第一面的第一对位标识;和,位于基板的第二面的第二对位标识。所述第二对位标识与所述第一对位标识匹配设置,所述第二对位标识能够表征其与所述第一对位标识之间的工艺偏差。

技术领域

本公开涉及显示技术领域,尤其涉及一种对位标记、掩模板及显示基板母版。

背景技术

随着显示技术的不断发展,消费者对笔记本电脑、智能手机、电视、平板电脑、智能手表以及健身腕带等各类显示装置的需求持续提升。例如,消费者需要获得更好的观看体验,这样在显示装置中采用全面屏技术,使得显示装置具有超高的屏占比,能够减小甚至消除显示装置的边框,从而实现显示装置的无边框显示,以确保显示装置具有良好的显示效果。

发明内容

一方面,提供一种对位标记。所述对位标记包括:位于基板的第一面的第一对位标识;和,位于基板的第二面的第二对位标识。所述第二对位标识与所述第一对位标识匹配设置,所述第二对位标识能够表征其与所述第一对位标识之间的工艺偏差。

在一些实施例中,所述第一对位标识包括至少一条第一基准线和至少一条第二基准线,其中,第一基准线的延伸方向和第二基准线的延伸方向垂直或大略垂直。所述第二对位标识包括与所述至少一条第一基准线一一对应的第一对位图形,与所述至少一条第二基准线一一对应的第二对位图形。

在一些实施例中,所述第二对位标识还包括:位于所述第一对位图形旁侧的多个第一方向位移值标识;和,位于所述第二对位图形旁侧的多个第二方向位移值标识。

在一些实施例中,所述第一对位图形包括呈V形分布的多个第一对位块,所述第一对位图形的对称中心线与所述第一基准线平行。所述第二对位图形包括呈V形分布的多个第二对位块,所述第二对位图形的对称中心线与所述第二基准线平行。在所述第二对位标识包括多个第一方向位移值标识和多个第二方向位移值标识的情况下,所述多个第一对位块和所述多个第一方向位移值标识一一对应,所述多个第二对位块和所述多个第二方向位移值标识一一对应。

在一些实施例中,所述多个第一对位块中的每个的形状包括矩形、三角形或菱形。所述多个第二对位块中的每个的形状包括矩形、三角形或菱形。

在一些实施例中,所述多个第一对位块中的每个沿所述第一基准线的延伸方向的尺寸范围为30μm~50μm,沿所述第一基准线的垂直方向的尺寸范围为2μm~10μm。所述多个第二对位块中的每个沿所述第二基准线的延伸方向的尺寸范围为30μm~50μm,沿所述第二基准线的垂直方向的尺寸范围为2μm~10μm。

在一些实施例中,沿所述第一基准线的垂直方向,所述多个第一对位块中位于V形底部且并排相邻的两个第一对位块之间的间隔与所述第一基准线的线宽相等或大略相等;所述多个第一对位块中位于V形顶部且并排相邻的两个第一对位块之间的间隔≤所述第一基准线的线宽加上2倍的工艺偏差极大值之和。沿所述第二基准线的垂直方向,所述多个第二对位块中位于V形底部且并排相邻的两个第二对位块之间的间隔与所述第二基准线的线宽相等或大略相等;所述多个第二对位块中位于V形顶部且并排相邻的两个第二对位块之间的间隔≤所述第二基准线的线宽加上2倍的工艺偏差极大值之和。

在一些实施例中,所述多个第一方向位移值标识中的每个为阿拉伯数字或罗马数字;所述每个第一方向位移值标识为对应的所述第一对位块与所述第一基准线二者间隔为零或接近于零时表征的工艺偏差值。所述多个第二方向位移值标识中的每个为阿拉伯数字或罗马数字;所述每个第二方向位移值标识为对应的所述第二对位块与所述第二基准线二者间隔为零或接近于零时表征的工艺偏差值。

在一些实施例中,所述多个第一方向位移值标识中相邻两个第一方向位移值之间的差值的取值范围为0.5μm~2μm。所述多个第二方向位移值标识中相邻两个第二方向位移值之间的差值的取值范围为0.5μm~2μm。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于京东方科技集团股份有限公司,未经京东方科技集团股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201980002708.1/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top