[发明专利]等离子体处理装置和生成等离子体的方法

权利要求书

1.一种等离子体处理装置，其特征在于，包括：

腔室；

高频电源部，其为了在所述腔室内从气体生成等离子体而输出脉冲状的高频电功率或者合成高频电功率，该合成高频电功率是该脉冲状的高频电功率与修正高频电功率的合成电功率，所述修正高频电功率是相对于对该脉冲状的高频电功率的反射波以反相振荡的电功率；和

修正信号生成部，其生成相对于反射波监测信号以反相振荡的修正信号，所述反射波监测信号是表示对所述脉冲状的高频电功率的所述反射波的信号，

所述高频电源部在第一期间输出所述脉冲状的高频电功率，

所述修正信号生成部根据所述第一期间的所述反射波监测信号来生成所述修正信号，

所述高频电源部在所述第一期间之后的一个以上的第二期间分别输出使用所述修正信号生成的所述合成高频电功率，交替地反复进行所述第一期间的所述脉冲状的高频电功率的输出和所述一个以上的第二期间的所述合成高频电功率的输出。

2.如权利要求1所述的等离子体处理装置，其特征在于：

还包括定向耦合器，其设置在输送从所述高频电源部输出的所述脉冲状的高频电功率和所述合成高频电功率的电路径上，

所述修正信号生成部根据由所述定向耦合器输出的所述反射波监测信号来生成所述修正信号，

所述高频电源部包括：

产生脉冲状的高频信号的高频信号发生器；

加法器，其对所述脉冲状的高频信号加上所述修正信号，来生成合成高频信号；和

放大器，其将所述脉冲状的高频信号放大来生成所述脉冲状的高频电功率，并将所述合成高频信号放大来生成所述合成高频电功率，

在所述第一期间，所述修正信号没有被加到所述脉冲状的高频信号上。

3.如权利要求2所述的等离子体处理装置，其特征在于：

所述修正信号生成部生成所述反射波监测信号的反相信号，并对所述反相信号进行修正以消除所述放大器的放大率对输入信号的振幅的依赖性，由此生成所述修正信号。

4.如权利要求1～3中任一项所述的等离子体处理装置，其特征在于：

所述第一期间和所述一个以上的第二期间是与由规定的频率确定的连续的多个周期分别相同的期间。

5.如权利要求1～3中任一项所述的等离子体处理装置，其特征在于：

该等离子体处理装置包括作为第一高频电源部的所述高频电源部，并且还包括：

支承台，其具有下部电极，在所述腔室中支承基片；

第二高频电源部，其与所述支承台电连接，输出另一高频电功率，该另一高频电功率的频率低于所述脉冲状的高频电功率的频率；和

产生与所述另一高频电功率同步的同步信号的同步信号发生器，

所述第一期间和所述一个以上的第二期间与所述另一高频电功率的连续的多个周期分别相同，

所述第一高频电源部依照所述同步信号在所述第一期间生成所述脉冲状的高频电功率，并依照所述同步信号在所述一个以上的第二期间分别生成所述合成高频电功率。

6.一种在等离子体处理装置的腔室内生成等离子体的方法，该方法的特征在于，包括：

为了在所述腔室内从气体生成等离子体，在第一期间输出脉冲状的高频电功率的步骤；

生成相对于反射波监测信号以反相振荡的修正信号的步骤，其中所述反射波监测信号是表示对所述脉冲状的高频电功率的所述反射波的信号；和

为了在所述腔室内从气体生成等离子体，在所述第一期间之后的一个以上的第二期间分别输出合成高频电功率的步骤，其中，该合成高频电功率是该脉冲状的高频电功率与相对于对该脉冲状的高频电功率的反射波以反相振荡的修正高频电功率的合成电功率，且是使用所述修正信号生成的，

输出脉冲状的高频电功率的所述步骤和输出合成高频电功率的所述步骤，以交替地反复进行所述第一期间的所述脉冲状的高频电功率的输出和所述一个以上的第二期间的所述合成高频电功率的输出的方式被执行。