[发明专利]打线接合装置

说明书

打线接合装置，包括在既定的接合区域中将打线一面按压于电极一面接合的接合工具。打线接合装置包括：驱动源，将接合工具沿着上下方向驱动；控制部，连接于驱动源，控制接合工具的按压荷重；弹性部，配置于接合区域的外侧，因按压荷重而产生应变；获取部，获取弹性部的应变；及校正部，基于获取部的获取结果，以预先设定的按压荷重的目标值与按压荷重的实测值的荷重误差成为既定范围内的方式，实施控制部的校正处理。

技术领域

本公开涉及一种打线接合装置。

背景技术

专利文献1公开一种打线接合装置。所述打线接合装置包括接合工具、驱动源、及控制部。接合工具在既定的接合区域中将打线一面按压于电极一面接合。驱动源将接合工具沿着上下方向驱动。控制部控制接合工具的按压荷重。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利特开平10-284532号公报

发明内容

发明所要解决的问题

一般而言，打线接合装置所包括的接合工具的按压荷重例如有时因一定期间的连续运行而随时间变化。因此，打线接合装置所包括的接合工具为了实现适当按压荷重的维持而定期进行接合工具的按压荷重的校正。

以前，接合工具的按压荷重的校正作业由操作员实施。在所述校正作业中，例如于在使打线接合装置停止的状态下，使用安装于接合区域内的荷重元来进行。所述校正作业中，作为使打线接合装置停止的期间，至少需要荷重元的安装及卸除所需的时间、及操作员进行按压荷重的校正作业所需的时间。其结果，实施校正作业有可能使打线接合装置的生产性降低。

因此，本公开说明一种可兼顾生产性的提升及实施接合工具的按压荷重的校正的接合装置。

解决问题的技术手段

本公开的一实施例的打线接合装置包括在既定的接合区域中将打线一面按压于电极一面接合的接合工具，且所述打线接合装置包括：驱动源，将接合工具沿着上下方向驱动；控制部，连接于驱动源，控制接合工具的按压荷重；弹性部，配置于接合区域的外侧，因按压荷重而产生应变；获取部，获取弹性部的应变；及校正部，基于获取部的获取结果，以预先设定的按压荷重的目标值与按压荷重的实测值的荷重误差成为既定范围内的方式，实施控制部的校正处理。

在本公开的一实施例的打线接合装置中，通过由接合工具按压弹性部，在弹性部产生应变。打线接合装置通过校正部实施控制部的校正处理。所述校正处理基于获取部所获取的弹性部的应变的获取结果，以预先设定的按压荷重的目标值与按压荷重的实测值的荷重误差成为既定范围内的方式，控制接合工具的按压力。根据所述打线接合装置，弹性部配置于接合区域的外侧。其结果，与例如在接合区域内安装荷重元的情形相比，用以实施校正处理的打线接合装置的停止时间变短。因此，可以使打线接合装置的运行时间增加。其结果，可兼顾生产性的提升及实施接合工具的按压荷重的校正。

在本公开的一实施例的打线接合装置中，也可使校正处理包含：实测处理，基于接合工具未按压弹性部的非按压状态下的弹性部的第一应变、及通过控制部以按压荷重成为目标值的方式进行控制的情形时接合工具以所述按压荷重按压弹性部的按压状态下的弹性部的第二应变，算出按压荷重的实测值；比较处理，根据所算出的实测值及按压荷重的目标值而算出荷重误差，并且将荷重误差与预先设定的荷重阀值进行比较；及修正处理，在荷重误差为荷重阀值以上的情形时，以荷重误差变小的方式变更控制部中的驱动源的控制数据，校正部反复进行实测处理、比较处理及修正处理，直至荷重误差变得小于荷重阀值为止。在该情形时，以非按压状态下的第一应变为基准而根据按压状态下的第二应变来算出按压荷重的实测值。因此，与例如根据弹性部的位移来算出按压荷重的实测值的情形相比，基准不易偏差。其结果，可高精度地算出按压荷重的实测值。因此，能精度良好地实施校正处理。