[发明专利]静电吸盘加热器及其制造方法

权利要求书

1.一种静电吸盘加热器，包括：

接地电极(310)及向所述接地电极(310)外侧隔开既定距离形成的静电吸盘电极(320)。

2.根据权利要求1所述的静电吸盘加热器，其特征在于，

所述接地电极(310)及所述静电吸盘电极(320)在同一平面上形成。

3.根据权利要求1所述的静电吸盘加热器，其特征在于，

所述静电吸盘电极(320)为片型或网型中任意一种。

4.根据权利要求1所述的静电吸盘加热器，其特征在于，

所述接地电极(310)为具有285mm直径的圆板形状，所述静电吸盘电极(320)为内径290mm、外径320mm的环形状。

5.根据权利要求1所述的静电吸盘加热器，其特征在于，

所述静电吸盘电极(320)具有0.2mm的厚度。

6.根据权利要求1所述的静电吸盘加热器，其特征在于，

还包括用于向所述静电吸盘电极(320)供应电力的静电吸盘连接构件(325)，

且所述静电吸盘连接构件(325)的材料为钼。

7.根据权利要求6所述的静电吸盘加热器，其特征在于，

所述静电吸盘连接构件(325)为片型或网型中任意一种。

8.一种静电吸盘加热器制造方法，其特征在于，包括：

对在第一陶瓷粉末层(710)及第二陶瓷粉末层(730)之间插入有埋设了接地电极(310)及静电吸盘电极(320)的陶瓷成型体(720)的陶瓷粉末层结构(700)进行成型的步骤；及

烧结所述陶瓷粉末层结构(700)的步骤；且

所述静电吸盘电极(320)向所述接地电极(310)外侧隔开既定距离形成。

9.根据权利要求8所述的静电吸盘加热器制造方法，其特征在于，

所述陶瓷粉末层结构(700)在所述第二陶瓷粉末层(730)及第三陶瓷粉末层(740)之间还包括发热体。

10.根据权利要求8所述的静电吸盘加热器制造方法，其特征在于，

所述陶瓷成型体(720)的成型步骤包括：

成型体加工步骤；

静电吸盘连接构件(325)提供步骤；

接地棒连接构件及静电吸盘棒连接构件提供步骤；及

所述接地电极(310)及所述静电吸盘电极(320)提供步骤。

11.根据权利要求10所述的静电吸盘加热器，其特征在于，

所述接地电极(310)及所述静电吸盘电极在同一平面上提供。

12.根据权利要求10所述的静电吸盘加热器，其特征在于，

所述静电吸盘电极(320)为片型或网型中任意一种。

13.根据权利要求10所述的静电吸盘加热器，其特征在于，

所述接地电极(310)为具有285mm直径的圆板形状，所述静电吸盘电极(320)为内径290mm、外径320mm的环形状。

14.根据权利要求10所述的静电吸盘加热器，其特征在于，

所述静电吸盘电极(320)具有0.2mm的厚度。

15.根据权利要求10所述的静电吸盘加热器，其特征在于，

所述静电吸盘连接构件(325)的材料为钼。

16.根据权利要求10所述的静电吸盘加热器，其特征在于，

所述静电吸盘连接构件(325)为片型或网型中任意一种。