[发明专利]带玻璃载体的铜箔及其制造方法

权利要求书

1.一种带玻璃载体的铜箔，其具备：

玻璃载体；

设置于所述玻璃载体上的剥离层；和

设置于所述剥离层上的铜层，

所述剥离层具有能够使所述玻璃载体与所述铜层彼此剥离的功能，

所述带玻璃载体的铜箔具有：存在所述剥离层的多个可剥离区域、和不存在所述剥离层的不能剥离区域，该不能剥离区域被设置成划分所述多个可剥离区域的图案状，

所述不能剥离区域的面积相对于所述可剥离区域与所述不能剥离区域的总面积的比率为0.01以上且0.5以下。

2.根据权利要求1所述的带玻璃载体的铜箔，其中，在所述玻璃载体与所述剥离层之间还具备中间层，所述中间层包含选自由Cu、Ti、Al、Nb、Zr、Cr、W、Ta、Co、Ag、Ni、In、Sn、Zn、Ga及Mo组成的组中的至少1种金属。

3.根据权利要求1或2所述的带玻璃载体的铜箔，其中，在所述剥离层与所述铜层之间还具备功能层，所述功能层由选自由Ti、Al、Nb、Zr、Cr、W、Ta、Co、Ag、Ni及Mo组成的组中的至少1种金属构成。

4.根据权利要求1或2所述的带玻璃载体的铜箔，其中，所述铜层的厚度为0.05μm以上且3.0μm以下，并且依据JIS B 0601-2001测定的所述铜层的最大高度Rz不足1.0μm。

5.根据权利要求1或2所述的带玻璃载体的铜箔，其中，所述玻璃载体为包含SiO₂的玻璃。

6.根据权利要求1或2所述的带玻璃载体的铜箔，其中，所述不能剥离区域的图案的宽度为1mm以上且50mm以下。

7.根据权利要求1或2所述的带玻璃载体的铜箔，其中，所述不能剥离区域的图案被设置为格子状、栅状或十字状。

8.根据权利要求1或2所述的带玻璃载体的铜箔，其中，所述不能剥离区域为间断图案。

9.根据权利要求8所述的带玻璃载体的铜箔，其中，所述间断图案的构成单元的形状为选自由圆形、椭圆形、多边形及星型多边形组成的组中的至少1种。

10.根据权利要求8所述的带玻璃载体的铜箔，其中，所述间断图案的构成单元的面积为100mm²以下。

11.根据权利要求1或2所述的带玻璃载体的铜箔，其预定为：所述不能剥离区域沿着所述图案被切断，使得所述带玻璃载体的铜箔被分割为多个。

12.一种权利要求1～11中任一项所述的带玻璃载体的铜箔的制造方法，其包括如下工序：

准备玻璃载体的工序；

以从所述玻璃载体的表面隔开规定的间隔距离悬浮的状态配置框的工序，所述框以划分多个区域的图案状构成；以及，

在以所述状态配置所述框的状态下，通过物理气相沉积(PVD)法在所述玻璃载体上依次将所述剥离层和所述铜层成膜，在被所述框遮住的区域形成不存在所述剥离层的所述不能剥离区域，另一方面，在未被所述框遮住的区域形成存在所述剥离层的所述可剥离区域的工序，

所述剥离层的成膜比所述铜层更薄地进行，以抑制剥离层成分向被所述框遮住的区域的侵入和堆积，从而使所述剥离层不在该区域形成，另一方面，所述铜层的成膜比所述剥离层更厚地进行，以促进铜向被所述框遮住的区域的侵入和堆积，从而使所述铜层在该区域形成，并且，

所述间隔距离和所述框的宽度以妨碍被所述框遮住的区域中的所述剥离层的成膜但允许所述铜层的成膜的方式来设定。

13.根据权利要求12所述的方法，其中，所述框和/或所述玻璃载体被用于调整所述间隔距离的机构支撑。