[发明专利]用于使沉积在透明基底上的抗反射处理层硬化的方法及包括硬化的抗反射处理层的透明基底

说明书

本发明涉及一种用于使沉积在透明基底上的抗反射处理层(20)硬化的方法，该透明基底包括顶面(22a)和远离该顶面(22a)延伸的底面(22b)，抗反射处理(20)包括将由至少一种材料构成的至少一个抗反射层沉积在该透明基底的该顶面(22a)和该底面(22b)中的至少一者上的步骤，该硬化方法包括利用由单电荷和/或多电荷电子回旋共振(ECR)离子源(1)产生的单电荷和/或多电荷离子束(14)轰击该至少一个抗反射层已沉积在其上的至少一个顶面(22a)或底面(22b)的步骤。本发明还涉及已经历抗反射处理的透明基底，透明基底的顶面(22a)和底面(22b)中的至少一者涂覆有由至少一种材料构成的至少一个抗反射层，离子被注入在该至少一个抗反射层中。

技术领域

本发明涉及一种用于使沉积在透明基底上的抗反射处理层硬化的方法。更特别地，本发明涉及一种用于使通过真空蒸镀而沉积在蓝宝石基底上的抗反射处理层硬化的方法。本发明还涉及一种涂覆有硬化的抗反射处理层的透明基底。

背景技术

施加在表镜上的抗反射处理要追溯到数十年以前。这种抗反射处理的目的是在佩戴该表的个体透过因此处理过的表镜而观看时改善表的表盘的易读性。更具体地，源自外部并穿过表镜的光线在空气与制成表镜的材料之间的界面处被第一次反射，并且在它从表镜出来并传向表盘时被第二次反射。在表盘上反射之后，光线再次穿过表镜并经历另一双反射。

应理解，这些多次反射的现象大大妨碍了由表的表盘显示的信息的易读性。这就是为什么很早便已努力地提供具有抗反射处理的表镜。当首次出现蓝宝石表镜时，人们对这种技术的兴趣进一步增加。更具体地，由于蓝宝石玻璃的相对高的光学折射率，与矿物玻璃相比，蓝宝石玻璃的再发射几乎使光加倍，因此导致光在蓝宝石玻璃与空气的界面处的显著反射。

表镜包括位于最靠近佩戴表的个体的一侧上的顶面和位于最靠近表的表盘的一侧上的底面。表镜的抗反射处理包括为表镜的顶面和底面中的至少一者涂覆由至少一种材料构成的至少一个层，其光学折射率在介于空气的光学折射率与制造表镜的材料的折射率之间的范围内。

本发明特别地涉及表镜，但并不限于此。更一般地，本发明涉及其入射光反射率特性正设法被降低的所有类型的透明基底。在本文中，透明基底被理解为是允许光通过并清楚地显示位于其后面的对象的基底。特别地，本发明还涉及由蓝宝石制成的表镜，但并不限于此。然而，本发明还涉及由任何透明材料制成的基底，如矿物玻璃、有机玻璃或塑料材料。

在本文中，抗反射处理被理解为这样一种方法，该方法旨在改变透明基底尤其是表镜的光学反射特性，其目的是，相对于未经处理的相同的透明基底，降低这样的透明基底的反射率。

本文中涉及的抗反射处理方法包括在真空下在透明基底的顶面和底面中的一者上沉积由至少一种材料构成的至少一个层。本文所涉及的在真空下进行的抗反射处理方法包括物理气相沉积或PVD、化学气相沉积或CVD、等离子体增强化学气相沉积或PECVD、或甚至原子层沉积技术或ALD。

如从上方理解的，本文涉及的抗反射处理技术包括在真空下在透明基底的顶面和底面中的至少一者上沉积由至少一种材料构成的一个或多个层以降低这样的透明基底对入射光线的反射率。在本文中，透明基底理解为特别是指代表镜、光学设备，尤其是如眼镜镜片的眼科设备，并且更一般地指代人们出于技术和/或美学原因而正设法降低其反射率的任何透明设备。

抗反射层具有降低其沉积在其上的透明基底的光发射率的优点。取决于厚度和制造其的材料，这些抗反射层还可改变透明基底的颜色。

然而，抗反射层的缺点是比其沉积在其上的基底的硬度低并且因此比该基底的耐刮花性差。在沉积于已知仅金刚石能刮花的蓝宝石基底上的这样的抗反射层的情况下尤为如此。

为了克服该问题，一些表制造商选择仅在他们的表镜的底面即面向表盘的表面上执行抗反射处理，这并不完全令人满意。

发明内容