[发明专利]二氧化碳气体传感器有效

申请号：	201980007178.X	申请日：	2019-06-14
公开（公告）号：	CN111587372B	公开（公告）日：	2023-09-19
发明（设计）人：	铃木卓弥	申请（专利权）人：	富士电机株式会社
主分类号：	G01N27/12	分类号：	G01N27/12;C01F17/247
代理公司：	北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277	代理人：	刘新宇;李茂家
地址：	日本神***	国省代码：	暂无信息
权利要求书：	查看更多	说明书：	查看更多
摘要：
搜索关键词：	二氧化碳气体传感器
钻瓜网技术展会专利词库专利权人专利榜在售专利公布日期热门专利

【说明书】：

提供一种可以检测二氧化碳的、稳定性高的气体传感器。提供一种气体传感器、气体传感器的制造方法、及选择性制造Lasubgt;2/subgt;Osubgt;2/subgt;COsubgt;3/subgt;所示的碳酸二氧镧的多晶型的方法，所述气体传感器为具备绝缘基板(3)、和在前述绝缘基板(3)的一个主表面夹着电极(2)而形成的气体感知层(1)的二氧化碳气体传感器，所述气体感知层(1)包含：(a)Lnsubgt;2/subgt;Osubgt;2/subgt;COsubgt;3/subgt;所示的1种以上的稀土金属碳酸氧盐(Ln为选自Sc、Y、La、Ce、Nd、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Pr、Yb、Lu中的1种以上的稀土金属元素)，前述稀土金属碳酸氧盐的主要成分为六方晶稀土金属碳酸氧盐；或(b)单斜晶碳酸二氧钐。

技术领域

本发明涉及二氧化碳气体传感器、气体传感器的制造方法、老化方法、及可以用于该气体传感器的感知层的稀土碳酸氧盐的制造方法。

背景技术

二氧化碳气体(以下在本说明书中也称作CO₂气体)的检测不仅在建筑物、停车场的管理等环境安全领域中，而且在农业、食物相关产业领域中也备受关注。现有的标准技术中，CO₂气体的检测通过非分散型光学式(NDIR：Non Dispersive Infrared)CO₂气体传感器进行。然而NDIR由于昂贵且体积大，有难以设置的问题。因此，要求低成本且具备简单结构的、高性能的耐化学性的CO₂气体传感器。

作为可用作CO₂气体传感器的耐化学性有希望的材料，提倡了稀土金属碳酸氧盐(rare earth oxycarbonate)(例如参照非专利文献1～4)。对于稀土金属碳酸氧盐而言，存在有稀土金属的种类、多晶型不同的族，其中，报告了单斜晶的碳酸二氧镧(La₂O₂CO₃)是最适作为CO₂气体传感器的物质(非专利文献2)。

作为稀土金属碳酸氧盐的制造方法，通常已知有将稀土金属的氢氧化物(Ln(OH)₃)作为起始物质的方法(非专利文献2～4)。另外，还已知有由稀土金属草酸盐(rareearth oxalate)合成稀土金属碳酸氧盐的方法(非专利文献5)。进而，报告了可以通过将Gd_2-XNd_X[C₂O₄]₃·nH₂O所示的草酸盐水合物在420～850℃、1atm的条件下经3周进行热分解来制造作为发光体发挥功能的Gd₂O₂CO₃-Nd₂O₂CO₃赝二元系(非专利文献6)。然而，并未报道该赝二元系可以作为气体传感器发挥功能。