[发明专利]Ag合金溅射靶及Ag合金溅射靶的制造方法在审
| 申请号： | 201980007189.8 | 申请日： | 2019-02-19 |
| 公开（公告）号： | CN111587300A | 公开（公告）日： | 2020-08-25 |
| 发明（设计）人： | 林雄二郎;小见山昌三 | 申请（专利权）人： | 三菱综合材料株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C22C5/06;C22F1/14;C22F1/00 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人： | 刁兴利;康泉 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | ag 合金 溅射 制造 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种Ag合金溅射靶，其特征在于，
具有如下组成：在合计0.1质量％以上且1.5质量％以下的范围内包含In及Sn中的至少一种以上，且剩余部分为Ag及不可避免的杂质，
在Ar气体压力0.1Pa、电流密度1.5W/cm2、累计电量0.01kWh/cm2的条件下实施溅射后的靶溅射面的算术平均表面粗糙度Ra设为7μm以下。
2.根据权利要求1所述的Ag合金溅射靶，其特征在于，
进一步在0.1质量％以上且7.5质量％以下的范围内包含Ge。
3.一种Ag合金溅射靶的制造方法，其特征在于，制造权利要求1或2所述的Ag合金溅射靶，所述Ag合金溅射靶的制造方法设为如下过程：
依次实施热镦锻造工序、热轧工序、冷却工序、冷轧工序、热处理工序、机械加工工序，
在所述热镦锻造工序中，在将保持温度设为750℃以上且850℃以下的范围内、将保持温度下的保持时间设为1小时以上且3小时以下的范围内的条件下进行加热，在6次以上且20次以下的范围内反复实施锻造成型比为1/2以上且1/1.2以下的范围内的锻造加工。
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