[发明专利]MEMS致动系统

权利要求书

1.一种多轴MEMS组件，包括：被配置为提供三轴直线移动的微机电系统(MEMS)致动器以及与所述微机电系统(MEMS)致动器连接的光电器件；

所述微机电系统(MEMS)致动器包括：

平面内MEMS致动器，和

平面外MEMS致动器；

其中，所述平面内MEMS致动器包括MEMS致动芯，所述MEMS致动芯包括多个梳齿驱动扇区，所述多个梳齿驱动扇区被设置在同一平面中并且彼此正交定位；

所述平面外MEMS致动器包括多形态压电致动器，其中所述多形态压电致动器包括：

被配置为贴附于所述平面内MEMS致动器的可移动台，

刚性框架组件，

刚性中间台，和

被配置为将所述可移动台连接到所述刚性框架组件的至少一个可变形压电部分，其中所述至少一个可变形压电部分包括：

被配置为将所述刚性中间台连接到所述可移动台的第一可变形压电部分；以及

被配置为将所述刚性中间台连接到所述刚性框架组件的第二可变形压电部分。

2.根据权利要求1所述的多轴MEMS组件，其中：

所述光电器件被连接到所述平面内MEMS致动器；以及

所述平面内MEMS致动器被连接到所述平面外MEMS致动器。

3.根据权利要求1所述的多轴MEMS组件，其中所述平面内MEMS致动器为图像稳定致动器。

4.根据权利要求1所述的多轴MEMS组件，其中所述平面内MEMS致动器被配置为提供X轴直线移动和Y轴直线移动。

5.根据权利要求4所述的多轴MEMS组件，其中所述平面内MEMS致动器被进一步配置为提供Z轴旋转移动。

6.根据权利要求1所述的多轴MEMS组件，其中所述平面外MEMS致动器为自动对焦致动器。

7.根据权利要求1所述的多轴MEMS组件，其中所述平面外MEMS致动器被配置为提供Z轴直线移动。

8.根据权利要求1所述的多轴MEMS组件，其中所述多形态压电致动器包括弯曲压电致动器。