[发明专利]MEMS致动系统

说明书

本发明公开了一种多轴MEMS组件。该多轴MEMS组件包括被配置为提供三轴直线移动的微机电系统(MEMS)致动器以及与该微机电系统(MEMS)致动器连接的光电器件。该微机电系统(MEMS)致动器包括：平面内MEMS致动器和平面外MEMS致动器。该平面外MEMS致动器包括多形态压电致动器。

本申请要求2018年1月24日提交的第62/621,360号美国临时申请的权益，其内容通过引用并入本申请。

技术领域

本公开总体涉及致动器，更具体地，涉及配置用于相机封装内的小型化MEMS致动器。

背景技术

如本领域所公知的，致动器可用于将电子信号转换成机械移动。在诸如便携式设备、成像相关设备、电信组件和医疗仪器的许多应用中，将微型致动器适配在尺寸小、功率低和成本有限的这些应用内可以是有益的。

微机电系统(MEMS)技术在其最通常形式中可以被定义为使用微加工技术制造的小型化机械和机电元件的技术。MEMS器件的关键尺寸可以从远低于1微米变化到几毫米。通常，MEMS致动器比传统致动器更紧凑，并且它们消耗更少的功率。

发明内容

在一个实施方式中，提供了一种多轴MEMS组件，包括：被配置为提供三轴直线移动的微机电系统(MEMS)致动器以及与该微机电系统(MEMS)致动器连接的光电器件。该微机电系统(MEMS)致动器包括：平面内MEMS致动器和平面外MEMS致动器。该平面外MEMS致动器包括多形态压电致动器。

以下特征的一个或多个可以被包括。光电器件可以被连接到该平面内MEMS致动器。该平面内MEMS致动器可以被连接到该平面外MEMS致动器。该平面内MEMS致动器可以为图像稳定致动器。该平面内MEMS致动器可以被配置为提供X轴直线移动和Y轴直线移动。该平面内MEMS致动器可以被进一步配置为提供Z轴旋转移动。该平面外MEMS致动器可以为自动对焦致动器。该平面外MEMS致动器可以被配置为提供Z轴直线移动。多形态压电器可以包括弯曲压电致动器。多形态压电致动器可以包括被配置为贴附于平面内MEMS致动器的可移动台。所述多形态压电致动器可以进一步包括刚性框架组件。所述多形态压电致动器可以进一步包括被配置为将可移动台连接到刚性框架组件的至少一个可变形压电部分。多形态压电致动器可以进一步包括刚性中间台。所述至少一个可变形压电部分可以包括：被配置为将刚性中间台连接到可移动台的第一可变形压电部分；以及被配置为将刚性中间台连接到刚性框架组件的第二可变形压电部分。

在另一个实施方式中，提供了一种多轴MEMS组件，包括：被配置为提供三轴直线移动的微机电系统(MEMS)致动器以及与该微机电系统(MEMS)致动器连接的光电器件。该微机电系统(MEMS)致动器包括：平面内MEMS致动器和平面外MEMS致动器。平面外MEMS致动器包括多形态压电致动器。光电器件被连接到该平面内MEMS致动器。该平面内MEMS致动器被连接到该平面外MEMS致动器。

以下特征的一个或多个可以被包括。该平面内MEMS致动器可以为图像稳定致动器。该平面外MEMS致动器可以为自动对焦致动器。该多形态压电致动器可以包括弯曲压电致动器。

在另一个实施方式中，提供了一种多轴MEMS组件，包括：被配置为提供三轴直线移动的微机电系统(MEMS)致动器以及与该微机电系统(MEMS)致动器连接的光电器件。该微机电系统(MEMS)致动器包括：平面内MEMS致动器和平面外MEMS致动器。该平面外MEMS致动器包括多形态压电致动器。所述多形态压电致动器包括：被配置为贴附于平面内MEMS致动器的可移动台、刚性框架组件以及被配置为将可移动台连接到刚性框架组件的至少一个可变形压电部分。

以下特征的一个或多个可以被包括。多形态压电致动器可以进一步包括刚性中间台。该至少一个可变形压电部分可以包括：被配置为将刚性中间台连接到可移动台的第一可变形压电部分；以及被配置为将刚性中间台连接到刚性框架组件的第二可变形压电部分。