[发明专利]硬掩模用组合物

权利要求书

1.一种硬掩模用组合物，其包含：含有以下化学式1至化学式2所表示的重复单元中的至少一种且重均分子量为1000以上8000以下的聚合物、以及溶剂，

所述组合物总重量中，包含所述聚合物5至30重量％以及所述溶剂70至95重量％，

[化学式1]

[化学式2]

化学式1或化学式2中，R₁为碳原子数1至10的亚烷基或碳原子数6至40的亚芳基，

R₂为氢、取代或非取代的碳原子数1至6的烷基、取代或非取代的碳原子数6至24的芳基或取代或非取代的碳原子数6至24的杂芳基，

R₃为氢、羟基、取代或非取代的碳原子数6至40的芳基或取代或非取代的碳原子数6至40的杂芳基，

R₄为取代或非取代的碳原子数6至40的芳基或取代或非取代的碳原子数6至40的杂芳基，

R₅为取代或非取代的碳原子数6至40的亚芳基或取代或非取代的碳原子数6至40的杂亚芳基。

2.根据权利要求1所述的硬掩模用组合物，R₄为选自由苯基、联苯基、萘基、菲基、萉基、蒽基、芘基、荧蒽基、芴基、羟基苯基、羟基联苯基、羟基萘基、甲氧基苯基、乙氧基苯基、丙基苯基和丁氧基苯基组成的组中的至少一种。

3.根据权利要求1所述的硬掩模用组合物，R₅为选自由亚苯基、联苯二基、萘二基、菲二基、萉二基、蒽二基、芘二基、荧蒽二基和芴二基组成的组中的至少一种。

4.根据权利要求1所述的硬掩模用组合物，所述聚合物包含以下化学式4所表示的吲哚衍生物以及醛化合物或以下化学式6所表示的化合物的缩合物，

[化学式4]

化学式4中，R₁为碳原子数1至10的亚烷基或碳原子数6至40的亚芳基，

R₂为氢、取代或非取代的碳原子数1至6的烷基、取代或非取代的碳原子数6至24的芳基或取代或非取代的碳原子数6至24的杂芳基，

R₃为氢、羟基、取代或非取代的碳原子数6至40的芳基或取代或非取代的碳原子数6至40的杂芳基，

[化学式6]

化学式6中，R₅为取代或非取代的碳原子数6至40的亚芳基或取代或非取代的碳原子数6至40的杂亚芳基，R₆为羟基或碳原子数1至6的烷氧基。

5.根据权利要求4所述的硬掩模用组合物，所述醛化合物包含选自由苯甲醛、联苯甲醛、萘醛、芴醛、菲醛、萉醛、蒽醛、芘醛、荧蒽醛、羟基苯甲醛、羟基联苯醛、羟基萘醛、甲氧基苯甲醛、乙氧基苯甲醛、丙基苯甲醛和丁氧基苯甲醛组成的组中的至少一种。

6.根据权利要求4所述的硬掩模用组合物，R₅为选自由亚苯基、联苯二基、萘二基、菲二基、萉二基、蒽二基、芘二基、荧蒽二基和芴二基组成的组中的至少一种。

7.根据权利要求1所述的硬掩模用组合物，其进一步包含交联剂、催化剂和表面活性剂中的至少一种。